垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,VCSEL)具有体积小、阈值电流低、可单纵模输出、功耗低和集成度高等优点,其发展引起了各个领域的瞩目,顺应了眼下信息社会的发展趋势。当下,无论是在光通信领域还是消费电子领域,VCSEL器件应用的身影随处可见,并且正不遗余力地改善着人们的生活方式与生活质量。
850 nm VCSEL凭借相对成熟稳定的技术特点,被普遍地视为一种适用于短距离光通信领域的理想光源,其高频特性极大程度上促进了光通信技术的发展;随着带有3D人脸识别功能的手机发布以来,3D感测技术逐渐地走进人们的视野,而承载该技术的核心组件便是940 nm VCSEL,随后该VCSEL在AR、VR领域以及人工智能领域均展现出极其优越的性能。自此,VCSEL技术的发展迎来爆发期,而高发光效率、高工作频率和高光束质量的VCSEL芯片的发展也引起了人们广泛的关注与重视。
然而,VCSEL的发光功率、激射波长、调频带宽等指标对器件架构,如材料的掺杂浓度、厚度和组分等极其敏感,这无疑增加了实验摸索的成本和周期,而仿真技术可以高效地评判VCSEL芯片架构设计的合理性,并助力制备出更高效的VCSEL芯片,如下图所示:
图(a)展示了激射发光光谱图,仿真技术有助于优化有源区和谐振腔设计,输出相关目标波长;同时,帮助优化器件架构,抑制高阶模对激射发光光谱的影响;
图(b)展