Zemax学习笔记(15)- ZEMAX设计光谱仪
1.简介
光谱仪(Spectrometer)是一种测量光强随波长分布的仪器,用途十分广泛。本节要仿真的是一个LGL的光谱仪,LGL光谱仪的结构如下图所示,主要包括两个透镜和一个衍射光栅。
点光源通过准直透镜变为平行光,接着在衍射光栅上按照波长不同被打散,然后再汇聚透镜上又被重新汇聚到探测器(像面)上,就可以得到光强按照位置的分布,而位置与波长是相关的,最终就可以得到光强与波长的分布关系。
光栅衍射的原理如下图所示:入射光和散射光与光栅法线的夹角分别为α和β。两个缝隙之间的光程差可以计算如下:
Δ
s
=
d
(
s
i
n
α
+
s
i
n
β
)
\Delta s=d(sin\alpha+sin\beta)
Δs=d(sinα+sinβ)
如果让每个Δs的值刚好为一个波长,那么我们可以计算得到
β
=
s
i
n
−
1
(
λ
d
−
s
i
n
α
)
\beta =sin^{-1}({\lambda \over d}-sin\alpha)
β=sin−1(dλ−sinα)
这个公式说明了散射光的角度与波长的关系,它是一个仅与λ有关的函数,d和α均已知。光栅衍射效率等可以在这篇文章中看一看。Simulating diffraction efficiency of surface-relief grating using the RCWA method.
如果选用反射光栅的话,通常使α和β相等,那么就会得到
β
=
s
i
n
−
1
λ
2
d
\beta=sin^{-1}{\lambda \over 2d}
β=sin−12dλ
探测器的宽度计算:
不同波长的光线会有不同的衍射角β,那么探测器的宽度计算可以通过下面的公式算得:
L
=
f
f
(
t
a
n
(
β
m
a
x
−
α
)
+
t
a
n
(
β
m
i
n
−
α
)
)
L=f_f(tan(\beta_{max}-\alpha)+tan(\beta_{min}-\alpha))
L=ff(tan(βmax−α)+tan(βmin−α))
2.设置
入瞳直径:10.0
波长范围 400-700nm
第2面设置为近轴面,焦距为30mm,距离光源30mm.
如下图所示:
接着,我们设置d=0.5μm,α=33.367°,在第2面后边插入一个坐标间断面;X倾斜33.367°,下一面插入一个衍射光栅,刻线 2/μm,衍射级次-1;下一面再插入一个坐标间断面,X倾斜设置为跟随主光线。
然后,在第5面后面插入一个厚度为30的标准面;在其后插入一个焦距为30的近轴面;在其后插入一个厚度为30的标准面。可以调节3D图显示颜色为波长,同时调整第6面的属性-绘图-不显示这个面,忽略这个面的光线,消除多余的光线。
3.验证
因为设置的是近轴表面,会忽略一些像差,所以在点列图上看到像点是无穷小的。
打开单点光线追迹,可以看到波长1 (400nm)的第6面的角度为14.477,可以代入上边的公式验证一下。
探测器长度,代入上边的式子可以得到L = 24.16 。我标的可能有点误差,两者差不多。
4.光谱分辨率和衍射极限
光谱分辨率
R
=
δ
λ
Δ
L
R={{\delta\lambda}\over{\Delta L}}
R=ΔLδλ
光谱分辨率可以通过ZPL编程宏计算得到一个曲线。
衍射极限,可以由艾里斑衡量:
r
A
=
1.22
λ
F
#
r_{A} = 1.22 \lambda {F^{\#}}
rA=1.22λF#
F#是工作F数,由焦距除以系统光圈得到,所以为了调整衍射极限,在光谱范围和光栅已经确定的情况下,可以通过调整入瞳直径和汇聚透镜的焦距实现。入瞳直径越大,F#越小,艾里斑半径也越小。焦距减小可以减小艾里斑直径,并且缩小系统的体积,但是容易引入更多像差。