惯性测量单元(IMU)传感器--MEMS微纳制造系列简报

惯性测量单元(IMU)传感器在现代技术中起着关键作用,从军事的JDAM制导炸弹到自动驾驶的定位系统,再到无人机和VR/AR设备。随着MEMS技术的发展,IMU在消费级应用中逐渐普及,特别是在自动驾驶中作为核心定位技术。然而,我国在高精度惯性传感器方面与国际先进水平仍有差距,需加强微纳制造技术工艺的应用与推广,以推动产业化进程。

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随着新一轮科技革命和产业变革的加速演进,5G、人工智能、物联网等基础设施日趋完善,无人驾驶、无人机、VR/AR等终端应用技术商业化规模快速增长,而连接新一代信息技术的基础技术与终端应用的——以MEMS为核心的智能传感器,正处于爆发阶段。MEMS传感器的设计与制造依赖大规模微纳制造技术,基于此,深圳市微纳制造产业促进会开展MEMS微纳制造系列调研,通过对核心器件市场应用的研究,分析其背后微纳制造技术的应用,从而促进微纳制造技术的应用及推广。

本期简报我们从惯性测量单元(IMU)传感器的应用说起。

从JDAM制导炸弹说起

今年五月份爆发的巴以冲突,再一次向世人展示了现代战争的可怕威力。以色列空军战机向加沙地带一幢十四层高的大楼发射两枚导弹,就将整幢大楼完全炸平了,是什么技术让这导弹能如此精确制导?确切说这并不是导弹,而是美国研制的联合直接攻击弹药(Joint Direct Attack Munition,字母简称JDAM)。JDAM制导炸弹采用自主式的卫星定位和惯性导航的复合式制导,其中制导控制部件(GCU)是JDAM制导炸弹的核心部件,包括GPS接收机、惯性测量单元(IMU)、任务计算机和电源模块。而IMU又是核心中的核心。

惯性测量单元(Inertial measurement unit,简称IMU)是测量物体三轴姿态角(或角速率)以及加速度的装置。IMU的核心装置是陀螺仪和加速度计。通常情况下,每套惯性测量装置包含三组陀螺仪和加速度计,分别测量三个自由度的角加速度和线加速度,通过对加速度的积分和初始速度、位置的叠加运算,得到物体在空间位置中的运动方向和速度,结合惯性导航系统内的运动轨迹设定,对航向和速度进行修正以实现导航功能。

▲图:惯性导航系统工作原理图

IMU消费级应用爆发

根据应用场景和精度要求不同,可以将惯性导航所需陀螺仪器件分为战略级、导航级、战术级和商业级(消费级):

1、战略级应用场景集中于航天和航海领域;

2、导航级应用场景多为各类导弹武器;

3、战术级应用场景包括地面兵装武器和飞行器;

4、商业级应用场景为民用。

惯性技术发展之初主要用于国防军工领域,高精度

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