引言
本文简要综述了所提出的清洗机制。然后介绍了聚VA刷摩擦分析结果。在摩擦分析中,刷的粘弹性行为、平板的表面润湿性以及刷的变形是重要的。此外,我们还介绍了PVA电刷和接触面之间真实接触面积的可视化结果。在半导体器件制造过程中,这次的专题“清洗与净化”是一个非常重要的事项。基本上半导体工厂都是洁净室,各种工艺都是在极度受控的环境下使用的。
实验
用PVA刷摩擦表面的清洗机构并不那么简单。那是因为使含有非常多液体的刷子在表面移动,因此提出了如图1所示的各种清洗模型。用液体和固体去除表面存在的粒子,为正混相流。
图1 粒子移动模型
另外,在这样的干洗中,据说粒子的除去性会根据进行 洗涤的高分子(洗涤工具)、要除去的粒子、以及被洗涤物 表面各自之间的分子间力的大小的不同、该高分子的形状而发生变化。例如对附着有二氧化硅粒子的PMMA平 面(被清洗物)进行清洗。面向壁虎自清洁机 制的阐明,报道了活跃的研