高效N型太阳能电池晶片清洗工艺的比较

引言

许多晶圆清洗技术都在竞争高效太阳能电池处理的使用。有些是从集成电路制造中借鉴而来的，在本工作中，对上述技术进行了定性比较，并在清洁效率和作为预扩散清洁的适用性方面对后三种技术进行了实验比较，所述预扩散清洁用于加工效率超过21 %的双面和IBC n型太阳能电池领域的工业应用。

一般认为高效太阳能电池器件，如PERC电池、双面n型太阳能电池如ISC的BiSoN概念和交叉背接触(IBC)太阳能电池如ISC的ZEBRA概念需要比标准铝背表面场太阳能电池更先进的晶片清洗。电池效率在20% (BiSoN) 左右和21% (ZEBRA) 以上，只有在高温步骤前表面足够清洁的情况下才能实现。对于这种太阳能电池概念的工业实施来说，需要直接且成本高效的高通量清洁技术。

实验

清洁效率的比较：根据图1清洗使用RENA monoTEX纹理化的晶片。

图1:比较的清洁程序，在本实验中，使用了二氯乙烷/二氟化氢混合物(2% / 2%)。

在所有清洗程序中，使用的稀释氟化氢(d HF)浓度为2%。POR和工业清洗液中稀释的氯化氢浓度为3%，浸泡时间为5分钟。在80℃下，在SPM(硫酸过氧化氢混合物)中的浸泡时间为10分钟。整个POR过程需要45分钟。对于氟化氢/臭氧浴，使用的氟化氢浓度低于0.5%。使用臭氧发生器(BMT 803，静电放电)产生O3，并通过臭氧接触膜溶解在HF水溶液中。O3浓度通过光度测量(使用BMT 964 AQ)确定为16至20 g/Sm3。

通过添加1份Seluris C和0.2份H2O2 (30%霍尼韦