紫外光刻胶 AR-N 4400/电子束光刻胶 AR-N7700/AR-P617 电子束光刻胶

本文介绍了光刻胶的种类,包括紫外光刻胶、电子束胶等,并详细阐述了AR-N4400紫外光刻胶的特性,适用于集成电路加工和激光干涉曝光等应用。同时列举了多种不同类型的光刻胶产品,如SU-8系列,显示了光刻胶在微电子制造中的重要角色。
摘要由CSDN通过智能技术生成

光刻胶又称抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其性质发生变化的耐蚀刻薄膜材料。按曝光光源和辐射源的不同,又分为紫外光刻胶(包括紫外正性光刻胶、紫外负性光刻胶)、深紫外光刻胶、电子束胶、X射线胶、离子束胶等。

AR-N 4400紫外光刻胶具有感光波段:i-line(365nm)、g-line(436nm)、化学放大胶,具有非常高的灵敏度、高分辨率、高对比度的特点,得到的undercut结构,用于lift-off工艺及集成电路加工、lift-off工艺、激光干涉曝光等。

电子束光刻胶 ma-N 2400 MR-EBL 6000系列

光刻胶 SPR 955

mr-EBL 6000系列 负性光刻胶

高聚物SU-8光刻胶

PermiNex 1000系列  负性光刻胶

SU-8 3050 负性光刻胶

SU-8 2002 2015 2050光刻胶

SU-8 3010 负性光刻胶

SU-8 3035 3025光刻胶

瑞禧WFF.2022.6

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