晶圆检测显微镜(微分干涉金相显微镜)采用优质的无限远光学系统,同时配备明暗场通用的长工作距离平场平场消色差物镜,多光路的系统设计,可同时支持双目镜筒观察和数码摄像装置观察。广泛应用于研究金属的显微组织,能在明场、暗场、偏光、微分干涉下进行观察和摄影,配备专用软件,更可同步进行测量分析。
晶圆检测显微镜一般用于晶圆、平板显示器、印刷电路板和其他大型样品的观察。奥林巴斯半导体显微镜综合应用还是不错的,模块设计很灵活,能适应多种检查,而且还可以和图像分析软件一起使用,快速生成检测报告,用起来超级方便。
例如德国著名显微镜企业徕卡显微系统,提