设备软件控制平台会是什么样子?

本文探讨了半导体设备的软件控制平台,包括主页面、环境监测、配方编辑、手动维护等多个功能模块,强调了权限管理、实时监控和数据备份的重要性,旨在实现设备的高效自动化控制。
摘要由CSDN通过智能技术生成

设备软件控制平台会是什么样子?

设备软件控制平台会是什么样子?

工控领域中,对于一些逻辑较为简单,或者一些单线加工的设备,通常情况下,使用PLC,单片机即可胜任对设备的控制。而对于一些专业的半导体设备,如匀胶显影机,清洗去胶机,亦或者CVD等带有机器人的大型设备,因为存在多线并行Process,甚至上工厂大线(工厂自动化),所以通常会使用基于Windows,Linux等系统的软件操作平台。
本文主要来阐述下,设备软件控制平台可能会包含的功能。

主页面

在这里插入图片描述
平台的使用者根据其职能不同,对平台的操作会有不同的权限,如工艺工程师可以对配方进行编辑,但是操作工程师不能,厂商工程师可以对IO进行检索,但其他工程师不行;主页面是开放给所有客户的,这上面的功能最为简单也是最为基本。
它主要用于选择配方,规定加工条件,总览机台运行状态,包括Wafer的分布,加工的进度,盒站的状态等等。顶栏会提供客户登录入口,对蜂鸣器的消音操作,以及随时切换到Alarm报警页面进行详细报警信息查看。

环境变量,管路监测,温度监测页面

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