国内半导体发展现状——部分上市公司分类名单

上游半导体设备：

1、刻蚀机：

北方华创、中微公司

2、光刻机：

上微集团、华卓清科

3、PVD：

北方华创

4、CVD：

北方华创、中微公司、沈阳拓荆

5、离子注入：

中科信、万业企业

6、炉管设备：

北方华创、晶盛机电

7、检测设备：

精测电子、华峰测控、长川科技

8、清洗机：

北方华创、至纯科技、盛美半导体

9、其他设备：

芯源微、大族激光、锐科激光

上游半导体材料：

1、大硅片：

沪硅产业、中环股份

2、靶材：

江丰电子、阿石创、隆华科技、有研新材

3、高纯试剂：

上海新阳、江化微、晶瑞股份、巨化股份

4、特种气体：

雅克科技、华特气体、南大光电

5、抛光材料：

安集科技、鼎龙股份

6、光刻胶：

南大