晶圆倒片机sorter/EFEM

目前,随着半导体产业链的全面开花,国内对设备的需求量也越来越大,今天我们聊一下晶圆片的分选sorter和传送EFEM类。

晶圆倒片机主要是用于FAB厂和晶圆级封装厂,用于分选晶圆片,此前我国此类设备一直靠进口,现在随着行业的发展,我国也有了自主研发的设备,国产的此类设备已经被国内知名晶圆制造厂和晶圆植球厂使用。

此类设备的核心部件包括:机器人、定位系统

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