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(1)半导体设备之sorter机(上)_晶圆倒片机-CSDN博客
00、背景:晶圆Sorter如何与生产线其他设备协同工作
晶圆Sorter的自动化传输系统是半导体制造过程中的关键组成部分,它与生产线上的其他设备协同工作,确保晶圆在整个制造过程中的精确、高效和安全处理。以下是晶圆Sorter自动化传输系统与生产线其他设备协同工作的方式:
>>>> 1. 集成与通信
自动化传输系统通过工业通信协议(如SEMI标准、Ethernet等)与生产线上的其他设备(如光刻机、刻蚀机、清洗机、检测设备等)进行集成和通信。这种集成确保了设备间的信息共享和指令传递,从而实现协同作业。
>>>> 2. 调度与控制
晶圆Sorter通常与工厂的中央控制系统或MES(制造执行系统)相连,该系统负责调度和控制整个生产线的运行。晶圆Sorter接收来自MES的任务指令,并根据生产计划和优先级安排