(1)半导体设备之sorter机【下】:HOW TO 业务的开发

本文介绍了晶圆Sorter在半导体制造中的自动化传输系统,阐述了其与生产线设备的集成通信、调度控制、错误检测等功能,强调了Sorter在CIM系统中的建模思路及需要的界面操作。Sorter自动化带来了生产效率的提升、质量保证、人力成本降低以及数据记录分析等管理效益。

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sorter 的全面科普文章见 文章

(1)半导体设备之sorter机(上)_晶圆倒片机-CSDN博客

00、背景:晶圆Sorter如何与生产线其他设备协同工作



晶圆Sorter的自动化传输系统是半导体制造过程中的关键组成部分,它与生产线上的其他设备协同工作,确保晶圆在整个制造过程中的精确、高效和安全处理。以下是晶圆Sorter自动化传输系统与生产线其他设备协同工作的方式:

>>>> 1. 集成与通信
自动化传输系统通过工业通信协议(如SEMI标准、Ethernet等)与生产线上的其他设备(如光刻机、刻蚀机、清洗机、检测设备等)进行集成和通信。这种集成确保了设备间的信息共享和指令传递,从而实现协同作业。

>>>> 2. 调度与控制
晶圆Sorter通常与工厂的中央控制系统或MES(制造执行系统)相连,该系统负责调度和控制整个生产线的运行。晶圆Sorter接收来自MES的任务指令,并根据生产计划和优先级安排

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