半导体EFEM 的一些小科普

一、EFEM 是什么意思

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设备前端模块（EFEM）是Equipment Front End Module的缩写，它在半导体制程和检测设备中扮演着至关重要的角色。EFEM的主要功能是在高洁净的环境下，通过精密机械手将单片晶圆传输至工艺、检测模块。它包括晶圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）和晶圆对准器（Aligner）这三大核心部件。EFEM通过设备内部的微环境保证倒片过程的洁净要求，实现晶圆的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序。此外，EFEM通常都是根据客户的具体需求进行定制化的。简而言之，EFEM是半导体生产设备中用于晶圆传输和处理的关键组件。

二、设备前端模块（EFEM࿰