生物医学信号检测与处理实验5——2声表面波气体传感器+3电传感器+4吸湿膨胀引起的MEMS压力传感器漂移

声表面波气体传感器

声表面波 (SAW)是沿固体材料表面传播的声波，它的振幅随材料深度通常呈指数迅速衰减。声表面波存在于多种电子元件，包括滤波器、振荡器和传感器。声表面波器件通常使用压电材料电极将电信号转换为声表面波，然后再转换回电信号。

声表面波气体传感器模型研究声表面波气体传感器的谐振频率。

传感器由刻蚀在压电 LiNbO3（铌酸锂）基板上并覆盖聚异丁烯 (PIB) 薄膜的叉指换能器 (IDT) 组成。随着 PIB 选择性地从空气中吸附 CH2Cl2 （二氯甲烷， DCM）， PIB 膜的质量增加，这导致谐振偏移，从而略微降低了同一声表面波模态下的谐振频率。

电传感器

本案例通过简化的静电设置模拟了电阻抗断层成像 (EIT) 方法，这是一种根据物体介电常数分布进行成像的方法。这种成像技术通过在物体表面测量电流和电压来实现。

医疗诊断就应用了这种技术。由于身体各器官及组织的电属性各不相同，因此可以采用非入侵的方式获得各器官及组织的具体定位及运动的信息。

本模型显示如何根据盒内小物体的不同材料属性从盒外判断其形状及其在盒内的位置。在盒子边界施加一个势差，会产生一个表面电荷密度，其大小根据盒内介电常数分布
而有所不同。

如图 1 所示，材料介电常数越高，对应的表面电荷密度也越高，与我们所期望的一致。在表面电荷密度图中重现出盒内图形的成像。

吸湿膨胀引起的MEMS压力传感器漂移

为使 MEMS 等器件集成在微电子电路中，人们通常采用环氧模塑料 (EMC) 对其进行塑封，以保护这些器件及其与电路板的连接。用于此类应用的环氧聚合物易受吸湿的影响而产生吸湿膨胀，从而导致 EMC 与电路板脱层或使 MEMS 元件发生故障。本例研究 EMC 的吸湿性在一年时间内对 MEMS 压力传感器响应性能的影响。

实验总结

到现在为止我们已经对照着案例库里面的模型做了有4个案例了。下面我来总结一下做了这4个案例之后的感受和收获。

1. COSMOL很强大，可以建立许多种模型。我们以后可以根据需要，先在案例库找到类似的案例学习，摸通建模方法和大致步骤之后，就可以自己尝试着根据自己的要求建模。
2. 未来做实验我们可以先考虑使用COSMOL进行建模仿真，然后再制作实物进行实验。