seal ring结构是为了防止划片或封装对芯片造成破坏,从而在芯片与划片道(scribe line)之间添加的一圈保护环,通常情况下,seal ring都是通过高层金属接地。
以t家的7nm工艺为例,seal ring可以分为三个部分:
- seal ring enhanced zone(SREZ)
- corner stress relief(CSR) pattern
- seal ring wall,以及周围的scribe line dummy bar(SLDB)
SREZ指的是芯片与seal ring之间预留的空间。
seal ring wall分为outer seal ring wall和inner seal ring wall,外圈靠近scribe line,内圈靠近芯片且宽度比外圈要宽。