数字后端:版图基础seal ring

Seal Ring是一种用于保护芯片免受划片或封装损伤的结构,通常用高层金属接地。在7nm工艺中,它包括SREZ、CSR pattern和seal ring wall及SLDB。SREZ是芯片与seal ring之间的间隔;seal ring wall由内外两圈组成,靠近scribe line的是外圈;CSR在芯片角落增加额外的seal ring和垂直加强结构;SLDB则为封装切割预留空间。
摘要由CSDN通过智能技术生成

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seal ring结构是为了防止划片或封装对芯片造成破坏,从而在芯片与划片道(scribe line)之间添加的一圈保护环,通常情况下,seal ring都是通过高层金属接地。

以t家的7nm工艺为例,seal ring可以分为三个部分:

  1. seal ring enhanced zone(SREZ)
  2. corner stress relief(CSR) pattern
  3. seal ring wall,以及周围的scribe line dummy bar(SLDB)

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SREZ指的是芯片与seal ring之间预留的空间。

seal ring wall分为outer seal ring wall和inner seal ring wall,外圈靠近scribe line,内圈靠近芯片且宽度比外圈要宽。

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