写在前面
最近正在为毕业设计做准备,打算把学习到的知识记录下来,计划阶段性写下相关的任务和完成情况,记录一些思路、遇到的困难以及解决办法。但是是从零开始,也会出现一些错误信息,如果你对我的问题或者记录方式有什么建议,欢迎随时提出,我会很乐意听取,万分感谢!
该文章主要讲述了关于如何使用Origin绘制Silvaco中导出的图片以及相关优化,包括如何下载和安装软件、如何进行数据分析和处理以及如何将分析结果以图表形式呈现出来。此外,还介绍了颜色搭配和图表美观度等方面的注意事项。
目录
一、Origin软件介绍及安装
1.Origin软件可以用于半导体器件模拟和绘图,网上有8.5.1版本的破解版可供下载。
2.安装破解版后,可以激活使用。
二、绘图的基本要求和规范
1.绘图时应注重颜色配比,如黑红绿蓝等颜色的使用。
2.每张图上应标明曲线代表的条件和参数。
(以下为部分规范画图模版展示)
三、Silvaco软件界面和工具使用
1.打开TCAD软件界面,右键.log文件,点击plot,调出Tonyplot窗口。
2.如硅锗晶圆键合,通过对代码中的相关参数进行更改,探究多晶锗带隙宽度对器件性能的影响。
go atlas
mesh cyl
X.MESH LOCATION=0 SPACING=3
X.MESH LOCATION=7 SPACING=3
X.MESH LOCATION=17 SPACING=3
Y.MESH LOCATION=0 SPACING=0.01
Y.MESH LOCATION=0.1 SPACING=0.01
Y.MESH LOCATION=0.8 SPACING=0.01
Y.MESH LOCATION=0.89 SPACING=0.01
Y.MESH LOCATION=0.9 SPACING=0.0001
Y.MESH LOCATION=0.902 SPACING=0.0001
Y.MESH LOCATION=0.91 SPACING=0.01
Y.MESH LOCATION=1.0 SPACING=0.01
Y.MESH LOCATION=1.5 SPACING=0.01
Y.MESH LOCATION=2.5 SPACING=0.01
#region
REGION num=1 MATERIAL=Germanium x.min=7 x.max=17 y.min=0 y.max=0.1
REGION num=2 MATERIAL=Germanium x.min=7 x.max=17 y.min=0.1 y.max=0.9
REGION num=3 user.material=poly-Ge x.min=7 x.max=17 y.min=0.9 y.max=0.902
REGION num=4 MATERIAL=Silicon x.min=7 x.max=17 y.min=0.902 y.max=1.0
REGION num=5 MATERIAL=Silicon x.min=7 x.max=17 y.min=1.0 y.max=1.5
REGION num=6 MATERIAL=Silicon x.min=0 x.max=17 y.min=1.5 y.max=2.5
REGION num=7 MATERIAL=Si3N4 x.min=0 x.max=7 y.min=0 y.max=1.5
#electrode
electrode name=anode x.min=0 x.max=5 y.min=1.5 y.max=1.5
electrode name=cathode x.min=7 x.max=17 y.min=0 y.max=0
#doping
doping uniform conc=1e19 p.type region=1
doping uniform conc=5e15 p.type region=2
doping uniform conc=5e15 p.type region=3
doping uniform conc=2e17 p.type region=4
doping uniform conc=5e15 n.type region=5
doping uniform conc=1e19 n.type region=6
#对雪崩get guss有帮助
INTERFACE S.S THERMIONIC TUNNEL
#material
material material=silicon taun0=1e-7 taup0=1e-7 Eg300=1.12 affinity=4
material material=germanium taun0=1e-7 taup0=1e-7 Eg300=0.66 affinity=4 sopra=Ge.nk
material material=poly-Ge user.group=semiconductor user.default=Germanium MUN=500 MUP=160 permittivity=16 Eg300=0.66 affinity=4 taun0=1e-8 taup0=1e-8 sopra=Ge.nk
#Ge只有空穴迁移率,按照单晶电子空穴迁移率进行比值得到1415
#DEFECTS 加cont雪崩的时候会不收敛 没有加高斯会出现电流降低
defects material=poly-Ge NTA=1e16 NTD=1e16 WTA=0.015 WTD=0.015 \
NGA=1e10 NGD=1e10 WGA=0.12 WGD=0.12 EGA=0.7 EGD=0.7 \
SIGTAE=1e-17 SIGTAH=1e-15 SIGTDE=1e-15 SIGTDH=1e-17 \
SIGGAE=1e-15 SIGGAH=1e-14 SIGGDE=1e-14 SIGGDH=1e-15 afile=acceptor.dat dfile=donor.dat
#contact name carrier temperature dependence reflect
contact name=anode
#model
models material=silicon fermi bgn auger fldmob consrh BBT.STD conmob optr print
models material=germanium fermi bgn auger fldmob consrh BBT.STD conmob optr print
models material=poly-Ge fermi bgn auger fldmob consrh BBT.STD TRAP.TUNNEL TRAP.COULOMBIC TRAP.AUGER QWELL optr print
impact selb material=poly-Ge an1=1.55e7 an2=1.55e7 ap1=1e7 ap2=1e7 bn1=1.56e6 bn2=1.56e6 bp1=1.28e6 bp2=1.28e6
impact selb material=silicon
#mobility
mobility material=silicon vsatn=1.3e7 vsatp=1e7 MUN=1450 MUP=500
mobility material=germanium vsatn=1e7 vsatp=9e6 MUN=3900 MUP=1900
#method
method newton maxtrap=15 climit=1e-4 DVMAX=1e8
solve init
log outfile=Ge_Si_wafer_bonding_dark_poly-Ge_2nm_066ev.log
solve vanode=0 vstep=1 vfinal=31 name=anode
output charge flowlines photogen opt.intens recomb u.auger u.srh U.BBT u.radiative HX.VELOCITY Hy.VELOCITY Hz.VELOCITY \
e.field jx.e jy.e jx.h jy.h con.band val.band e.velocity h.velocity e.mobility h.mobility EZ.FIELD EZ.VELOCITY \
impact J.ELECTRON J.HOLE J.TOTAL QTUNN.BBT TRAPS DEVDEG EX.FIELD EX.VELOCITY EY.FIELD EY.VELOCITY
save outfile=Ge_Si_wafer_bonding_dark_poly-Ge_2nm_066ev.str
tonyplot Ge_Si_wafer_bonding_dark_poly-Ge_2nm_066ev.log
tonyplot Ge_Si_wafer_bonding_dark_poly-Ge_2nm_066ev.str
3.运行后在Tonyplot中通过“Open”选项选择要绘制的数据类型,暗电流数据用log数据形式显示:
4.修改相关参数后,tonyplot中得到的图如下:
4.所有图片进行"ctrl+a"全选,点击“edit”中的“make overlay”,实现将所有图片集中在一张图上显示,如下:
四、Silvaco导出数据
1.点击“File”选项中的“Export”,按照下图进行相关修改即可。
2.导出图像数据文件,如下图即导出成功:
五、Origin软件中的数据处理
1.打开Origin软件,界面功能区域介绍如下图:
2.将导出的数据拖入项目管理器中即可,可全选直接拖入,也可一个一个拖入,确保顺序性。
3.将导出的电流数据转换为正数,通过取绝对值实现:列选中y轴电流列,右键点击“Set Column Values”,输入公式“abs”即可对数据取绝对值,如下图所示,其余七组数据同理对电流取绝对值。
4.点击第一组数据export1,进行全选后画图,如下所示:
5.在画布区的左上角右击,选择“Layer Contents”,再将需要的数据组选中移至右边框中,最后点击“Ok”即可,相关步骤如下图所示:
6.将电流数据使用对数形式log显示:双击电流所在的y轴,数据类型选择“Log10”,可得到下方的总图显示:
六、图形美化设置
1.右击ungroup即可每条线单独设置,然后单击线条即可进行颜色与宽度更改,选择合适的颜色配比,使图形更加美观,例如:黑 红 蓝 绿 天蓝 浅橙,且把宽度“width”改为“4”.
2.更新图标:单击后右击,选择“Update Legend”更新图标显示,再对电压字体双击即可更改图标文本数据显示。
3.加上边框,步骤如下:
4.修改坐标值,使图片位于中间位置,更加美观。
七、图形标注和字体设置
1.设置曲线图标类型,按照下图五个步骤修改即可,按照实际需要进行参数修改即可。
2.显示图标中的曲线信息,取消勾选“line”选项框中的“gap to symbol”即可。
3.修改图标疏密间距,具体操作如下:
4.其他的线条根据自己的喜好进行相应的修改即可,方式同上。
5.修改坐标轴字体大小,并将坐标刻度尺设置修改为向内。
6.修改坐标轴数字显示的间隔与数字显示方式,使绘制的图更加美观简约,大小同样设置为36.
7.消除边框设置;空白处右击,点击“add text”即可添加文本。
8.添加填充颜色的方框示例
七、导出图形和设置分辨率
1.修改相关默认设置,调整图像大小和分辨率,确保导出的图形质量,按照下图进行修改即可。
2.设置导出的图形格式为TIF,选择合适的分辨率和压缩模式。
八、在Word中绘制图形
1.利用Word中的绘图工具,插入矩形、文本框等形状,创建器件结构图。
2.设置文本框的格式,包括边框、填充颜色和字体样式。