光频域反射（OFDR）表征微环谐振器

关键词：OFDR、光频域反射、分布式光纤传感、微环谐振器

针对目前集成电路和光学器件向微型化,集成化的发展趋势,以及构建大规模光电一体化集成系统的现实需求,基于SOI(Silicon On Insulator)的微环谐振腔（MRRs）由于其高集成度,与CMOS工艺兼容等优点,迅速成为了热点研究课题,并在高灵敏度传感器,全光网络,光陀螺,光开关等领域显示出了巨大的应用潜力。

本文以2021年发表在Optics Letters上的一篇期刊文章来讲述使用OFDR技术（光频域反射）表征片上微环谐振器相关性能参数，并由此提出一种谐振模本征q因子的计算模型。

MRR器件的一个关键参数是它们的质量因子（Q值），这直接反映了它们以特定频率存储光子的能力。MRR的负载Q因子（Qload）可以由两个因素决定：内部Q值和耦合Q值。在高Q器件的传统测量方法中，可调谐激光器的光耦合到微环谐振器中，然后由光电探测器检测所传输的信号。最终在测得的透射谱上，根据谐振峰归一化传输功率计算。然而，透射光可能会受到偏振旋转、模式分离或其他光扰动影响，因此，Q值计算的准确性也会受到影响。

使用洛伦兹拟合后的透射谐振谱（计算得到的3个微环Q值）

对比于传统的透射谱拟合并用归一化功率计算，作者采用另一种全新的方法（OFDR）来测量并评估微环性能。使用昊衡科技的OCI——1500作测试设备，光源扫描带宽设置1525到1590 nm的波长范围，扫描速度10 nm/s，对待测样品进行扫描测试。

1. 微环半径r=1.6 mm的MRR样品的光学显微镜图像
2. 微环与直波导耦合部分的近距离视图

使用OCI——1500得到测试结果

从数据结果上可以看到，在0.291m处有两个反射峰值，分别对应微环入口处边缘耦合的两个面，距离1cm。微环波导总的损耗长度超过4米，其回波信号检测灵敏度达到-130dB。

1. 用传统方法测量的共振的透射谱
2. 用OFDR方法测量的共振波的频率响应
3. 用虚线框突出显示的单个共振的后向散射信号距离——反射信号。x轴上的“0”位置表示MRR的起始位置

由图（c）中OFDR测量得到的传输损耗拟合曲线得到αOFDR=-7.66±0.27 dB/m。根据公式：

其中λ0为中心波长，ng是微环相对折射率。最终计算得出Qload =（3.42±0.12）x106

最后，对3种不同耦合间隙的微环分别进行测试并拟合，然后根据前文的Q值计算公式，分别对3种情况作计算，得到结果如下表：

从表中数据可以清楚看到，使用OFDR技术对微环谐振器进行测量，并使用Q值参量表征性能是非常准确的。

总结：利用光频域反射系统表征微环器件，可以方便地获得光在微环中的距离域传播曲线，通过谱线分析，可以准确地提取微环的频率响应和传播损耗特征。该技术还可以推广到其他各类光学微腔的表征实验中，特别是超高Q值微腔的表征。理论上Q值越高，OCI系统距离域的采集点会越多，测量会更容易和准确。而随着微环微腔类器件使用越来越广泛，OFDR测量系统将有广阔应用前景。

昊衡科技：

一家集研发、生产、销售于一体的高科技公司，专业从事工业级自校准光学测量与传感技术开发，也是国内首家实现OFDR技术商用化的公司。目前，昊衡科技已推出多款高精度高分辨率产品，水平比肩国际同类型产品，主要应用于光学链路诊断、光学多参数测量、高精度分布式光纤温度和应变传感测试。已与全球多个国家和地区企业建立良好的合作关系，并取得诸多成果。