中级 失效分析

失效分析
失效分析的总章与目录。

失效分析基础
l 可靠性工作的目的，失效分析的理论基础、工作思路

l 术语定义与解释：失效、缺陷、失效分析、失效模式、失效机理、应力……

l 失效分析的问题来源、入手点、输出物、相关标准

失效分析技术方法
A、失效分析的原则

B、失效分析程序

l 完整的故障处理流程

l 整机和板级故障分析技术程序

l 元器件级失效分析技术程序（工作过程和具体的方法手段介绍）
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C、失效信息收集的方法与具体工作内容

l 如何确定失效信息收集的关注点

l 样品信息需要包括的内容

l 失效现场外部信息的内容

l 信息收集表格示例

l 信息收集为后面技术分析工作贡献的示例
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D、外观检查

l 外观检查应该关注的哪些方面

l 外观检查发现问题示例

l 外观检查的仪器设备工具
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E、电学测试

l 如何用电测验证失效模式和预判失效机理

l 电测的具体方法

l 几种典型电测结果的机理解析

l 电测时复现间歇性失效现象的示例

l 在电测中如何利用外部应力与失效机理的关联

l 电测的常用仪器设备
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F、X－RAY

l X-RAY的工作原理与设备技术指标

l 不同材料的不透明度比较

l X-RAY的用途

l X-RAY在失效分析中的示例

l X-RAY的优缺点

l X-RAY与C-SAM的比较
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G、C-SAM

l C-SAM的工作原理与设备技术指标

l C-SAM的特点与用途

l C-SAM、X-RAY在失效分析中联合应证的使用示例

l C-SAM的优缺点
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H、密封器件物理分析

l PIND介绍

l 气密性分析介绍

l 内部气氛分析介绍

I、开封制样

l 化学开封的方法、设备、技术要点介绍

l 化学开封发现器件内部失效点的示例

l 切片制样的具体方法与步骤

l 切片制样发现器件和焊点内部失效点的示例
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J、芯片剥层

l 化学腐蚀法去除钝化层的具体方法，及其特点与风险

l 等离子腐蚀去除钝化层的具体方法，及其特点与风险

l 腐蚀钝化层后样品观察区的形貌示例

l 去除金属化层的具体方法与示例
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K、失效定位－SEM

l SEM的工作原理与设备特点

l 光学显微镜与SEM的性能比较

l 光学显微镜与SEM具体成像区别示例
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L、失效定位－成份分析

l 成份分析中的技术关注点经验

l EDS、AES、XPS、SIMS、FTIR等成份分析仪器的用法比较

l 成份分析在器件内部分析中的作用示例
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M、内部热分析－红外热相

N、内部漏电分析－EMMI

O、芯片内部线路验证－FIB

P、综合分析与结论

l 综合分析中的逻辑思维能力

l 结论的特点与正确使用
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Q、验证与改进建议

l 根本原因排查与验证

l 改进建议及效果跟踪
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各类失效机理的归纳讲解与相应案例分析
1、失效分析全过程案例

A、失效信息收集与分析            

B、思路分析

C、过程方法                      

D、逻辑推导

E、试验手段                       

F、综合分析

G、结论与建议
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2、静电放电失效机理讲解与案例分析

A、静电损伤的原理               

B、静电损伤的三种模型讲解

C、静电损伤的途径               

D、静电放电的失效模式

E、静电放电的失效机理           

F、静电损害的特点

G、静电损伤的案例（比较器、单片机、微波器件、发光管、功率管）
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3、闩锁失效机理讲解与案例分析

A、闩锁损坏器件的原理           

B、闩锁损坏器件的特征

C、闩锁损坏器件的案例（开关器件、驱动器件等）

D、闩锁与端口短路的比较         

E、CMOS电路引起闩锁的外部条件

F、静电与闩锁的保护设计
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4、过电失效类失效机理讲解与案例分析

A、过电的类型及特点（浪涌、过电压、过电流、过功率等）

B、对应不同类型的过电的失效案例
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5、机械应力类失效机理讲解与案例分析

A、机械应力常见的损伤类型
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6、热变应力类失效机理讲解与案例分析

A、热变应力损伤的类型和特征
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7、结构缺陷类失效机理讲解与案例分析

A、热结构缺陷的类型和特征         

B、发现缺陷的技术手段
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8、材料缺陷类失效机理讲解与案例分析

A、绕线材料缺陷                   

B、钝化材料缺陷

C、引线材料缺陷                   

D、簧片材料缺陷
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9、工艺缺陷类失效机理讲解与案例分析

A、工艺缺陷的类型和主要特征，发现手段
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10、应用设计缺陷类失效机理讲解与案例分析

11、污染腐蚀类失效机理讲解与案例分析

A、污染的来源与类型，腐蚀的主要原理
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12、元器件固有机理类失效机理讲解与案例分析

A、不同类型的元器件固有失效机理的归纳
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