一、SECS/GEM基础术语

二、SECS-II SxFy消息清单








三、典型的CEID清单(半导体 & 面板通用)
1.载具相关事件(Carrier)

2.设备状态事件

3.搬运系统事件(OHT/AGV/Lift)

四、常用VID(Variable ID)定义示例

五、设备状态码与报警码(常见情况)
1.设备主状态(通常通过S2F23查询)

2.常见设备报警码(Alarm ID)

六、MCS内部状态机常用枚举(Java开发参考)
1.Carrier 状态

2.Transport Task 状态

3.OHT 状态

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