DeepSeek引爆AI工业应用之AI赋能AMHS

中国半导体 AMHS 关键系统解析及 AI 赋能

本文深入探讨了中国半导体工厂中 AMHS（自动物料搬运系统）的关键技术架构，包括 MCS/TCS/VCS 控制系统、OHT 小车、无线供电轨道等核心模块，并详细阐述了如何利用人工智能（如强化学习、神经网络及 DeepSeek 大语言模型）赋能 AMHS，实现智能调度、预测性维护、异常检测和自然语言交互。文章中还提供了软件架构设计、代码示例和数学模型的介绍，旨在为行业内技术人员提供实际可操作的参考。

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1. AMHS 关键系统解析

1.1 MCS/TCS/VCS 架构与功能

AMHS 的控制系统通常采用三级架构：

• MCS（Material Control System）

  • 负责全局物流调度与管理，与 MES 系统对接生成运输任务。
  • 管理所有运输单元状态和存储位置，并维护全局数据（如采用分布式内存数据库实现高并发调度）。

• TCS（Transport Control System）

  • 专注于运输任务分配和路径规划，综合考虑距离、交通状况、设备状态等因素。
  • 引入 AI（例如深度神经网络）进行动态路径规划、区域拥堵控制和任务分配优化。

• VCS（Vehicle Control System）

  • 直接控制 OHT 小车硬件，执行运动控制指令（如加减速、导航定位、机械臂操作）。
  • 基于实时操作系统实现高精度控制，并实时反馈状态给上层 TCS。

各层之间通过闭环控制实现晶圆从入库到设备之间的自动运输。例如：

1. MES 发出晶圆运输任务 →
2. MCS 生成任务并指派 TCS →
3. TCS 计算最优路径并下发命令 →
4. VCS 控制 OHT 小车执行运输，反馈状态 →
5. TCS/MCS 根据反馈更新数据库。

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1.2 OHT 小车的运行机制与路径规划

OHT 小车（Overhead Hoist Transfer）

• 悬挂在厂房顶部轨道上运行，直接对接设备接口，实现高效、精准的晶圆运输。
• 轨道网络通常构成网格或环状结构，支持在区域间高速穿梭。

路径规划

在轨道网络中，OHT 小车的路径规划可抽象为图论中的最短路径问题，节点代表交叉点，边权代表距离或预估行驶时间。常用算法为 Dijkstra 算法，计算出总耗时最短的路径。

示例代码：使用 Dijkstra 算法计算最短路径

import networkx as nx

# 构建运输拓扑图
G = nx.Graph()
G.add_nodes_from(["Stocker_A", "Tool1", "Tool2", "Stocker_B"])
G.add_edge("Stocker_A", "Tool1", weight=30)
G.add_edge("Stocker_A", "Tool2", weight=35)
G.add_edge("Tool1", "Stocker_B", weight=40)
G.add_edge("Tool2", "Stocker_B", weight=20)

# 计算最短路径
start, goal = "Stocker_A", "Stocker_B"
shortest_path = nx.dijkstra_path(G, start, goal)
print("Shortest path:", shortest_path)
# 输出: Shortest path: ['Stocker_A', 'Tool2', 'Stocker_B']

交通管理

在实际应用中，还需考虑多台小车的协同与拥堵控制，例如通过区域锁定、信号调控以及动态权重调整，确保整体运输流程的顺畅。

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1.3 无线供电轨道技术的原理与优势

无线供电轨道通过电磁感应技术为 OHT 小车提供电力，无需物理接触。其基本原理是：

1. 供电盘将电源转换为高频交流电并通入专用电缆。
2. OHT 小车上的拾能线圈感应到磁场产生感应电流，经过受电单元整流稳压后驱动小车。

优势：

• 减少机械磨损和电刷接触问题；
• 提高供电的稳定性和连续性，适合7×24小时不间断运行；
• 简化电缆铺设，降低维护成本。

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2. AI 赋能 AMHS 的应用场景

2.1 智能调度优化

传统路径规划（如 Dijkstra）只能提供静态最短路径。引入 强化学习（RL） 和 神经网络（NN） 后，AMHS 调度系统可以从实时数据中学习，优化路径选择。

• 建模：将调度问题抽象为马尔可夫决策过程 (MDP)，状态为各小车位置及轨道占用情况，动作为选取下一段轨道，奖励基于任务完成时间。
• 算法：使用深度 Q 网络（DQN）或策略梯度方法逼近最优策略，并结合 Dijkstra 算法输出初始路径，再通过 RL 动态修正。

示例代码：结合 Dijkstra 和 Q-learning 的简化示例

import math
# 定义环境拓扑
states = ["Stocker_A", "Tool1", "Tool2",