源表测量准确度Accurracy（以Keithley 4200为例）

  在测量中，借助不确定度理论，衡量仪器测量值与真实值的差距。Keithley系列的源表会在datasheet中提供准确度（Accurracy），它通常是一个与测量时所使用的量程，测量值和温度相关的值。
  规律是，测量量程越大，测量值越大，温度越高，测量的Accurracy数值越大。
  官方得出的Accurracy是这样的：以电流为例，空载测量输出电流。测量过程中，改变施加电压，发现空载电流随电压作小幅线性变化。对于温度，我没有验证，推测使用的测试方法也是一致的。
  在测试中，曾经以噪声误认为准确度，在很长时间内造成混淆。在同一次测试中，在白噪声的影响下，电流随时间作随机运动，浮动的范围是噪声。Accurracy是测量值与真实值之间的差距。一个测试，可能噪声比较大，准确度比较高，也可能噪声很小，准确度很差，二者没有明确的关系。然而，噪声很大的信号，准确度也谈不上好。
  在仪器评估选型时，有些老型号的半导体特性测试仪（安捷伦4155级别）的手册中会提供噪声资料。但是，近些年的源表不再提供该参数。噪声受到测试环境的影响太大，其中测试线缆是最关键的一环。高端源表无一例外采用Triaixial接头，guard层对于噪声的控制非常关键。过早地暴露线芯会极大地引入噪声。
  同样使用Keithley 4200 SCS半导体特性分析仪，用Triaxial接头测量电阻（100nA量程），噪声在几百个fA；而用Triaxial-to-Coaxial-Banana接头噪声在30pA以内；使用同样的量程，半导体分析仪换成Agilent B1500A，正常测试（使用test-fixture）噪声在几百fA；但是在无test-fixture而直接使用Triaxial-to-Coaxial-Banana测试时噪声会达到500pA，远远高于K系4200；而如果转接后的双同轴线质量差的话，噪声甚至会达到几百nA。