首先将黑磷片定点转移到金属标记上,图片为显微镜200x照片,像素间距890.2nm,基片编号20190415 EBL HW-1 1 材料在字母上,石墨烯要在材料上。
再转移CVD石墨烯
进行紫外光刻后,对石墨烯刻蚀,去胶之后真空密封两周之后
目标做成金属——黑磷——石墨烯纵向光电探测器。
第二个基片已废,主要是黑磷片较薄,容易氧化所致。
拍照上面这张照片的时间是2019年4月15日,从基片标号20190415 EBL PD1 -1 石墨烯搭在黑磷两端 剥离法 EBL20190415 EBL PD1 -1 石墨烯搭在黑磷两端 剥离法 EBL可以读出,写这篇文章的时候是2019年5月5日,这时候黑磷已经氧化掉了,如下图。
第三片编号20190415 EBL OW-1 -1 石墨烯搭在黑磷两端 EBL
从上面的图片来看,本来以为粉色的黑磷微米片会比较薄,但从放置2周后的结果来看,它是较厚的那一种,如下图
第四片,是一片紫外光刻的,氧化严重,但仍然连接