SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)的会员一起构建的连接性标准。该标准应用于在设备和工厂管理系统间的通讯标准。
介绍
SECS/GEM指的是一组用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。消息层标准SEMI E5 SECS-II定义了一个通用的消息结构和一个包含许多标准化消息的库。协议层标准SEMI E37高速消息服务(HSMS)定义了使用TCP/IP传输SECS-II消息的二进制结构。SEMI E30 GEM定义了一组最低要求、附加(可选)功能、用例和部分SECS-II消息的用户场景。
SECS/GEM是在设备上实现的,工厂使用它来实现命令和控制功能。由于它是一个行业标准,任何符合SECS/GEM的主机软件都可以与任何符合SECS/GEM设备进行通信。该标准在设备上全面实施后,工厂软件可通过其SECS/GEM接口对设备进行全面控制和监控。这些标准为设备制造商和工厂提供了许多好处。
协议网站 www.secsgem.cn
通讯
SECS/GEM SEMI连通性标准定义主机与设备如何初始地建立通讯。它也定义当通讯中断时如何重新建立通讯。线上识别方法可验核设备的硬体和软体识别身分。SECS/GEM终端服务特性让主机操作者及设备操作者能够交换在主控台处手动键入的文字。
SECS/GEM适应性 GEM Adaptability
GEM COMPLIANCE STATEMENT |
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FUNDAMENTAL GEM REQUIREMENTS |
MPLEMENTED |
GEM-COMPLIANT |
State Models |
■Yes □No |
■Yes □No |
Equipment Processing States |
■Yes □No |
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Host Initiated S1F13/F14 Scenario |
■Yes □No |
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Event Notification |
■Yes □No |
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