作为Sentaurus TCAD的学习者,深感其内容庞杂,容易边学边忘,陷入混乱。按个人理解,既要对Sentaurus TCAD有一个宏观的认识,整体进行学习,也应该进行分门别类的整理,便于理清思路,加深理解。
Sentaurus TCAD的重点由SWB、SDE、SDevice、Sprocess、Svisual组成,学习涉及linux命令、软件操作及报错处理、Scheme语言、TCL语言、半导体物理与器件、网格划分和数学求解、电工电子、半导体工艺、版图等内容。笔者后续的文章主要根据自己的理解进行整理,不会面面俱到。目的是进行记录和交流,希望各位读者不吝分享自己的看法,如果有推荐的国内外书籍、期刊或者网站,以及TCAD仿真领域的行业动态也欢迎分享。
学习资料购买自“懒小木”的视频课程(看中其内容全面且提供答疑)和“心兰相随tcad”的书(内容细致,方便查阅参考)。