大功率Inp半导体激光器

大功率的1.5um通信波段LD可以应用空间激光通信，激光雷达，激光制导等。1.5um的穿透烟雾的能力也更强，1.5um对人眼损伤阈值比850nm波段小几万倍。光纤通信更是主要是1.5um半导体激光传输。所以研究提升1.5um波段激光器的功率是个非常有意义的方向。

目前影响出光功率提高的两个主要因素是：电光转换效率（斜率效率）和腔面灾变损伤（Catastrophic Optical Damage,COC）。

先讲一下半导体激光器的一些基础理论，从而分析影响功率的因素都有哪些

半导体激光器中光子腔内损耗包含两个过程：内部损耗

和腔面损耗

腔面损耗

，激光器阈值处等于损耗，则有：

高于阈值处的出光功率表达式为：

微分量子效率定义为输出的光子数与注入的电子空穴对之比，可表示为

由上式可知，可以通过测量不同腔长的斜率效率，得到微分量子效率的倒数和腔长L的关系曲线，进而通过线性拟合得到直线的斜率和交点，即可确定器件的内部损耗

和内量子效率

。

所以激光器的斜率效率由其内量子效率、内部损耗以及腔长决定。

要增大激光器的出光功率就要提高斜率效率，器件的斜率效率正比于内量子效率，与内部损耗和腔长呈反比，所以在器件结构设计中重点优化材料和结构以得到尽可能大的内量子效率以及尽可能小的内部损耗。

对于激光器的内部损耗，其主要产生机理是由材料内部载流子吸收、波导散射损耗、不均匀的外延质量或材料缺陷导致的光学散射引起的。外延材料的质量直接影响了内部损耗的大小，对于器件来说，来自于有源区、高掺限制层的自由载流子吸收，还有小部分来自波导结构的散射损耗。所以在保证材料外延质量的前提下，可以通过合理的设计光腔内的光场分布以及材料的掺杂形貌来减小波导的内部损耗。

自由载流子吸收导致的总损耗可表示为：

从左到右分别为量子阱损耗、波导损耗、覆盖层损耗，可以分别通过下面的式子计算，

分别对应各层的限制因子，n,p分别代表为各层中的电子和空穴浓度，

和

对应电子和空穴的散射截面，大小和激光器的激射波长有关。

所以自由载流子吸收导致的总损耗由各层的限制因子，电子和空穴的浓度以及散射截面决定。所以降低内部总损耗可以通过：1、降低波导层和限制层的掺杂浓度从而降低载流子的浓度。2、减小量子阱层的光限制因子。3、由于空穴的散射截面大于电子的散射截面，所以通过引入非对称波导将光场转移到n区减小p型覆盖层的限制因子。

光限制因子从定义上理解是光场与有源区的重叠面积与整个光场分布的百分比。光限制因子的解析式如下：

定义d是有源层的宽度，然后对光场分布函数积分。所以一般采用尽量宽波导可以减少限制因子，来减小内部损耗，从而转化效率，提高光功率。那究竟使用多宽的波导，是一个重要的研究方向，也不是越宽越好。

 

 

下面是Inp大功率激光器的研究进展。