Dummy Die（模拟芯片或虚拟芯片）

翊神总裁--九哥

于 2024-06-18 10:58:12 发布

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文章标签：软件工程算法

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Dummy Die（模拟芯片或虚拟芯片）在半导体制造和电路设计中起着多个重要作用。以下是关于Dummy Die的详细解释：

定义：Dummy Die是一种特殊的晶圆结构，用于模拟实际芯片（即第一die）在制造过程中的行为，但并不具备实际芯片的全部功能。它通常被用于工艺监控和保证可制造性。
作用：
- 保证可制造性：Dummy Die的存在有助于防止芯片在制造过程中由于曝光过渡或不足而导致的蚀刻失败。这是因为Dummy Die与实际芯片在同一晶圆上制造，它们经历了相同的制造步骤和条件，因此可以作为一个参考来评估实际芯片的制造质量。
- 避免光刻影响：Dummy Die可以避免由于光刻过程中光的反射与衍射而影响到关键元器件物理图形的精度，进而影响其尺寸（size）。这种影响可能导致元器件的功能失效或性能下降。
- 避免噪声影响：在电路设计中，Dummy Die还可以用于避免芯片中的噪声对关键信号的影响。通过在关键信号的周围加上Dummy Routing Layer或Dummy元器件，可以减少噪声的干扰，提高电路的稳定性和可靠性。
结构特点：
- Dummy Die通常位于每个shot die的预设区域中，与实际芯片（第一die）并列存在。它们可能具有与实际芯片相似的结构，但具体功能和尺寸可能有所不同。
- Dummy Die上通常设置有测试点（pad），这些测试点可以用于监控制造过程中的各种参数，如温度、压力、曝光量等。这些参数对于评估芯片的制造质量和性能至关重要。
应用示例：在掩埋金线叠DIE封装中，Dummy Die可以被用作隔层，留出高度用于Wire bonding（线绑定）。这种应用方式可以增加工艺流程的灵活性，降低材料成本，并提高生产效率。