角速率传感元件

角速率传感元件基于科里奥利震动陀螺仪原理。当硅表面微加工梳妆结构以其共振频率震荡时，角速率会产生垂直于震荡方向和旋转轴的科里奥利力。由此产生的梳妆结构电容变化被测量并转换为数字信号。信号路径由两个闭环路径组成，即驱动路径和检测路径。驱动路径控制角速率传感元件的震荡，也是ASIC时钟频率的基础。检测路径以闭环模式运行，其中施加的角速率产生的信号被反馈到传感器元件的检测框架。因此，检测框架不会沿角速率产生的科里奥利力方向偏转，而是保持在“零”位置。信号最终经过低通滤波。测量元件表面的微加工结构受到微加工硅盖的保护和密封。