加速度传感元件

加速度传感元件

加速度传感元件采用硅表面微加工梳妆结构（横向传感轴）或非对称遥感结构（垂直传感轴）作为电容式加速度计。每个结构形成一个差分电容器，由悬挂在硅弹簧条和固定反电极上的可自由移动的振动质量组成。沿传感轴的加速度轴的加速度使振动质量偏转，导致电容变化，改变化由传感器读出ASIC进行评估。传感器芯片表面的微加工结构受到微加工硅帽的保护和密封。