XPS学习

本文内容总结至《X射线光电子能谱数据分析》一书，作者是宋廷鲁等老师，简单记录下，防止后续学习遗忘。

1. 分峰拟合前要进行谱峰校正(荷电校正)、谱峰平滑以及背底扣除；

2. 大多数情况下，合金、金属，以及sp2石墨碳、金属碳化物等材料呈现不对称峰型，采用"Asymmetric"拟合，而半导体、多数氧化物以及高分子聚合物材料的图谱呈现对称峰型，采用"Gaussian-Lorentzian"函数模式拟合；

3. 通常背底扣除方式选择Shirley或者Smart，同一组元素分析，所有元素尽可能选择同一背底扣除方式；

4. 对称的谱峰进行单峰拟合时，谱峰的高斯比应大于70%；

5. 谱峰常用面积比，p1/2:p3/2=1:2，d3/2:d5/2=2:3，f5/2:f7/2=3:4