sentaurus学习笔记4.13(一)

文章详细描述了SentaurusTCAD软件中一系列命令,用于定义半导体器件中的电极(源极、漏极和栅极)的几何结构,包括接触集合设置、边界边缘定义和删除金属区域,以支持电学模拟和性能分析。

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; Define electrodes
(sdegeo:define-contact-set "drain")
(sdegeo:set-current-contact-set "drain")
(sdegeo:set-contact-boundary-edges drn.metal)
(sdegeo:delete-region drn.metal)
 
(sdegeo:define-contact-set "source")
(sdegeo:set-current-contact-set "source")
(sdegeo:set-contact-boundary-edges src.metal)
(sdegeo:delete-region src.metal)
 
(sdegeo:define-contact-set "gate")
(sdegeo:set-current-contact-set "gate")
(sdegeo:set-contact-boundary-edges gate.metal)
(sdegeo:delete-region gate.metal)在sentaurus里表示什么意思

在Sentaurus TCAD中,这些命令是用于定义和处理半导体器件中的电极(如源极source、漏极drain和栅极gate)的几何结构和边界条件的。下面是对每条命令的详细解释:

1. `; Define electrodes`

这是一个注释,用于说明接下来的命令将定义电极。

2. `(sdegeo:define-contact-set "drain")`

这条命令定义了一个名为“drain”的接触集合。在半导体器件仿真中,接触集合用于指定器件的特定区域,如源极、漏极和栅极,以便对这些区域应用特定的边界条件或材料特性。

3. `(sdegeo:set-current-contact-set "drain")`

这条命令将当前的接触集合设置为“drain”,这意味着接下来的操作将针对漏极区域进行。

4. `(sdegeo:set-contact-boundary-edges drn.metal)`

这条命令将漏极的边界边缘设置为`drn.metal`,`drn.metal`是一个之前定义的几何实体,代表漏极的金属接触区域。

5. `(sdegeo:delete-region drn.metal)`

这条命令从仿真区域中删除了`drn.metal`区域。这是一种常用的技术,用于创建接触孔或开口,以便在后续步骤中填充金属或其他材料。

6. `(sdegeo:define-contact-set "source")`

定义一个名为“source”的接触集合,用于后续定义源极区域。

7. `(sdegeo:set-current-contact-set "source")`

将当前的接触集合设置为“source”,以便对源极区域应用特定的边界条件或材料特性。

8. `(sdegeo:set-contact-boundary-edges src.metal)`

将源极的边界边缘设置为`src.metal`,`src.metal`是代表源极金属接触区域的几何实体。

9. `(sdegeo:delete-region src.metal)`

从仿真区域中删除`src.metal`区域,创建源极接触孔或开口。

10. `(sdegeo:define-contact-set "gate")`

定义一个名为“gate”的接触集合,用于后续定义栅极区域。

11. `(sdegeo:set-current-contact-set "gate")`

将当前的接触集合设置为“gate”,以便对栅极区域应用特定的边界条件或材料特性。

12. `(sdegeo:set-contact-boundary-edges gate.metal)`

将栅极的边界边缘设置为`gate.metal`,`gate.metal`是代表栅极金属接触区域的几何实体。

13. `(sdegeo:delete-region gate.metal)`

从仿真区域中删除`gate.metal`区域,创建栅极接触孔或开口。

总的来说,这些命令在Sentaurus中用于定义和处理半导体器件中的电极区域,创建接触孔或开口,并为后续的金属填充和边界条件设置做准备。这些步骤对于器件的电学模拟和性能分析至关重要。

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