目录
一、清洗
1 清洗玻璃片
① IPA+DI / 20min each / total 3
② AIR gun drying
③ Heating table (100℃) 30min
④ plasma 5min ,增加疏水性(玻璃片不需要)
⑤ U/V Ozone 30min
⑥ clean the sample box using gun drying
⑦ put in glove box
2 清洗MASK
① IPA+DI / 20min each / total 1
② AIR gun drying
③ Heating table (100℃) 5-15min
④ cleaning the mask box
3 清洗器械
① IPA+DI / 20min each / total 3
② AIR gun drying
③ Heating table (100℃) 30min
⑦ Live with tin foil
二、配溶液
1 P型材料
- OSC
溶质 | 溶剂 | 退火温度℃ | 退火时间 |
---|---|---|---|
DPPT-TT | DCB | 80 | one night |
DPP-DTT | CB | 白天130°,晚上80° | one night |
PS | NBA |
实验结果:
溶质 | 溶剂 | 浓度 | 浓度 |
---|---|---|---|
DPP-DTT | CB | 2mg/ml 放置冷却两小时不会成胶状 | 5mg/ml放置冷却三分钟成胶状 |
- Dielectric
溶质 | 溶剂 | 退火温度 | 退火时间 |
---|---|---|---|
PMMA | NBA | 80 | one night |
2 N型材料
- OSC
溶质 | 溶剂 | 退火温度 | 退火时间 |
---|---|---|---|
N2200 | DCB | 80 |
三、旋涂
流程
① 锡纸放入台子中
② 设置好旋涂步骤
③ 设置好加热台,以及计时器
④ 打开抽气泵电源开关,打开抽气阀门
⑤ 将片子放到台子里,打开抽气开关,将其吸住(test)
⑥ 将配好的溶液,用移液抢滴在片子上
⑦ 开始旋涂
⑧ 结束后放到加热台退火
Detil
溶质 | 旋涂阶段一(转速/时间/加速度) | 旋涂阶段二 | 退火阶段1 | 退火阶段2 |
---|---|---|---|---|
DPPT-TT | 500rpm/5s/200 | 2000rpm/60s/500a | 80°/5min | 150°/1h |
PMMA | 500rpm/3s | 2000/60s | 80°/one night | 无 |
四、蒸镀
1 蒸镀仪操作流程
准备阶段
- 打开冷凝水箱
- 打开面板系统
- 总控制电源全开
- DGN-DC电源开关打开,启动
- 右侧面板屏幕打开
- 离子泵面板打开
- 复合真空计面板打开
- 打开放气阀,等到气压达到4.0E4时,关闭放气阀,打开舱门
- 用乙醇擦干净真空胶(此步骤在一定周期后需要操作)
- 换舟,放材料
- 放将样品板放入
- 关舱门(确保所有挡板关闭),抽真空
- 依次打开旁抽阀、机械泵,等到真空度达到5E0时,关闭旁抽阀
- 依次打开挡板阀、分子泵、闸板阀
- 等待分子泵转速达到27000,然后等待真空度达到5E-4时(1.5h),进入下一阶段
蒸样品阶段
- 找到膜厚面板对应的材料,清零
- 打开舟工作,舟挡板,调节功率,加热样品,加大电流(注意面板速率)
- 舟亮
- 样品融化
- 样品彻底融化,打开膜厚面板的运行
- 样品全部融化,达到适当速率时(清零膜厚),打开样品挡板、样品转动
- 蒸镀完成后
- 关闭样品挡板、样品转动、舟挡板
- 调节功率下降,直至为零,再关闭舟工作
- 如果要蒸镀第二种材料,重复上述操作
结束蒸发,收尾阶段
- 关闭真空环境
- 关闭闸板阀、分子泵
- 冷却20-30min
- 关闭挡板阀、机械泵
- 膜厚面板可关闭
- 开门取样步骤
- 开放气阀
- 开门取样品、关放气阀、关门
- 开机械泵、旁抽阀,待真空后,关闭旁抽阀和机械泵
- 依次关闭分子泵面板、真空计面板、三个绿色按钮关闭,以及总闸门往下推至关闭,最后关闭冷凝水装置(注意开关可能会漏电,务必小心)
2蒸镀经验
材料 | 舟亮温度 (℃ ) | 融化温度 (℃ ) | 全部融化温度 (℃ ) | 晶振速率(Å=0.1nm=10^-10m) | 注意事项 |
---|---|---|---|---|---|
AL | 100nm,7粒 | ||||
AU | |||||
NI | 100-150 | 开始时,0.02,可以慢一点 | 5nm/3粒/作为SD粘合剂 | ||
CU | 80-120 | 0.1-0.2 | 50nm/7粒 |
五、溅射
流程
- 点击取样按钮 ,等舱门打开后,换靶材及放置好片子
- 关闭舱门,点击真空按钮,待真空度达到4E-4时,开始溅射
- 起辉阶段
- 打开充气阀,待真空度稳定后,打开阀门
- 气氛运行
- 调节功率
- 转速
- 打开靶材,起辉三分钟
- 然后点击溅射按钮,开始溅射 17min
- 完成之后冷却