LEHDLAB-实验记录

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1、DPP-DTT TEST

（1）cjr20221025-1

(a)The experimental process

1、配溶液

Notes：配溶液前请清洗好玻璃瓶及钥匙

Material	concentration
DPP-DTT(CB)	5mg/ml、1.5ml
PMMA(NBA)	100mg/ml、10ml

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2、清洗玻璃片

① IPA+DI / 20min each / total 3
② AIR gun drying
③ Heating table
(100℃) 30min
④ U/V Ozone 30min
⑤ clean the sample box using gun drying
⑥ put in glove box

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3、蒸镀源漏

蒸镀前清洗掩模版,蒸镀Ni/Au源漏电极。
旋涂前，对蒸镀完的玻璃片清洗（IPA+DI/5min）。

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4、旋涂DPP-DTT和PMMA，旋涂和退火温度如下：

Notes：旋涂前，请将溶液冷却1-2h。5mg/ml的DPP-DTT冷却三分钟后成胶状。

Material	Spin-coating
DPP-DTT(5mg/ml)	500 rpm/5 s/200a 2000 rpm/60 s/500 a
PMMA(100mg/ml)	500 rpm/3 s 2000 rpm/60 s

Annealing	sample1 (5mg/ml DPP-DTT 胶状)	sample2 (5mg/ml DPP-DTT 液体)	sample3 (2mg/ml DPP-DTT液体)
DPP-DTT	80℃/10 min 150 ℃/1 h	80℃/10 min 150 ℃/1 h	80℃/10 min 150 ℃/1 h
PMMA	80 ℃ one night	80 ℃ one night	80 ℃ one night

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5、蒸镀Al（100nm 0.3A/s，6粒），蒸镀前清洗掩模版（1.5h）。

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（b）实验结果：

1、5mg/ml的DPP-DTT，旋涂出的膜很不均匀，颜色深度不一。
2、2mg/ml的DPP-DTT,与5mg/ml相比，膜的颜色很浅。
3、5mg/ml测试时表现为双极性，而2mg/ml的片子没有开启。
4、此次旋涂DPP-DTT并没有冷却足够长的时间，冷却了几分钟.

（c）改进：

1、DPP-DTT膜厚不均匀，需要改变旋涂的速度。
2、不采用2mg/ml的DPP-DTT，改用3mg/ml
3、观察DPP-DTT冷却成为胶状的时间

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（2）cjr20221030-1

(a)The experimental process

1、配溶液（2022/10/29 21:30 配好DPP-DTT）

Notes：配溶液前请清洗好玻璃瓶及钥匙

Material	concentration
DPP-DTT(CB)	3mg/ml、1.5ml
PMMA(NBA)	100mg/ml、10ml

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2、清洗玻璃片

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3、蒸镀源漏

蒸镀前清洗掩模版,蒸镀Ni/Au源漏电极。
旋涂前，对蒸镀完的玻璃片清洗（IPA+DI/5min）。

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4、旋涂DPP-DTT和PMMA，旋涂和退火温度如下：

Notes：旋涂前，请将溶液冷却1-2h。5mg/ml的DPP-DTT冷却三分钟后成胶状。

Material	Spin-coating
DPP-DTT(5mg/ml)	700 rpm/5 s/200a 2500 rpm/60 s/500 a
PMMA(100mg/ml)	500 rpm/3 s 2000 rpm/60 s

Annealing	sample1	sample2	sample3	sample4
DPP-DTT	80℃/10 min 150 ℃/1 h	80℃/10 min 160 ℃/30min	80℃/10 min 200 ℃/1 h	80℃/10 min 250 ℃/1 h
PMMA	80 ℃ one night	80 ℃ one night	80 ℃ one night	80 ℃ one night

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5、蒸镀Al（100nm 0.3A/s，6粒），蒸镀前清洗掩模版（1.5h）。

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（b）实验结果：

（c）改进：

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2、CMOS