Silvaco Atlas——用 DBRs写超晶格结构

Superlattices（超晶格） 和 Distributed Bragg Reflectors (DBRs，分布式布拉格反射器)

在之前的文章中就有讲过什么是超晶格结构，以及如何用DBR去表示超晶格结构，在此再做进一步论述。
本文主要介绍 Superlattices（超晶格） 和 Distributed Bragg Reflectors (DBRs，分布式布拉格反射器) 的概念与语法。DBR 是超晶格的一种，通过定义两层材料的重复结构（如厚度、材料成分、掺杂等）来构建“复合”结构。文中提到 DBR 语法与 REGION 语句类似，区别在于通过参数索引（如 1 和 2）区分不同区域。示例中展示了 DBR TOP 和 DBR BOTTOM 的结构定义，包括层数（LAYERS）、每层厚度（THICK1/THICK2）、重复次数（N1/N2）、材料（MAT1/MAT2）和成分参数（如 X2.COMP）。

Silavco Atlas 中 DBR 的写法拓展

在 Silavco Atlas 中，DBR 用于定义多层重复结构，核心参数如下：

1. DBR TOP/BOTTOM：定义顶部或底部的 DBR 结构。
2. LAYERS：总区域层数，决定 1,2,1,2… 的重复次数。
3. THICK1/THICK2：两层材料的厚度。
4. N1/N2：每层重复次数（需结合 LAYERS 理解逻辑）。
5. MAT1/MAT2：两层材料名称（如 GaAs、AlGaAs）。
6. 成分参数：如 X1.COMP 定义材料成分比例。

示例代码与解析

DBR TOP LAYERS=4 THICK1=0.1 THICK2=0.2 N1=2 N2=3 MAT1=GaAs MAT2=AlGaAs X2.COMP=0.4  
DBR BOTTOM LAYERS=3 THICK1=0.05 THICK2=0.075 N1=3 N2=3 MAT1=AlGaAs MAT2=GaAs X1.COMP=0.4  

• DBR TOP：
  • LAYERS=4：总层数为 4，按 1,2,1,2 顺序构建。
  • THICK1=0.1、THICK2=0.2：两层厚度分别为 0.1 和 0.2。
  • N1=2、N2=3：结合 LAYERS，实际按规则生成区域。
  • MAT1=GaAs、MAT2=AlGaAs：两层材料，X2.COMP=0.4 定义第二层材料成分。
• DBR BOTTOM：逻辑类似，调整厚度、材料和成分参数。

通过 DBR 语句，可高效定义多层周期性结构，无需重复写 REGION 语句，适合模拟半导体光学器件（如布拉格反射器）的结构。

中间层 DBR 结构的写法

在 Silavco Atlas 里，虽然 DBR 语句提供了 TOP 和 BOTTOM 选项，但要定义中间层的 DBR 结构，其实可利用多层结构的组合逻辑来实现。基本思路是把不同的 DBR 结构与其他区域（REGION）组合起来，进而明确中间层 DBR 的位置。

下面是一个示例代码，展示了在整个器件层结构中定义中间层 DBR 的方法：

# 定义底层区域
REGION NUM=1 Y.MIN=0 Y.MAX=0.5 MAT=GaAs
# 定义中间层 DBR
DBR LAYERS=4 THICK1=0.1 THICK2=0.2 N1=2 N2=3 MAT1=GaAs MAT2=AlGaAs X2.COMP=0.4
# 定义顶层区域
REGION NUM=2 Y.MIN=1.3 Y.MAX=2 MAT=GaAs

在这个示例中：

1. 首先借助 REGION 语句定义了底层区域，其范围是从 Y = 0 到 Y = 0.5，材料为 GaAs。
2. 接着使用 DBR 语句定义中间层的 DBR 结构。这里省略了 TOP 或 BOTTOM，因为它处于中间位置。
3. 最后再用 REGION 语句定义顶层区域，范围是从 Y = 1.3 到 Y = 2，材料同样是 GaAs。

TOP 和 BOTTOM 的含义

DBR 语句里的 TOP 和 BOTTOM 指的是 DBR 结构自身的顶部和底部，并非器件整体层结构的顶部和底部。在器件整体层结构中，DBR 结构的位置是由它与其他 REGION 语句所定义区域的相对位置来体现的。

示例说明

# 底层区域
REGION NUM=1 Y.MIN=0 Y.MAX=0.5 MAT=GaAs
# 底部 DBR
DBR BOTTOM LAYERS=4 THICK1=0.1 THICK2=0.2 N1=2 N2=3 MAT1=GaAs MAT2=AlGaAs X2.COMP=0.4
# 顶部 DBR
DBR TOP LAYERS=4 THICK1=0.1 THICK2=0.2 N1=2 N2=3 MAT1=GaAs MAT2=AlGaAs X2.COMP=0.4
# 顶层区域
REGION NUM=2 Y.MIN=1.3 Y.MAX=2 MAT=GaAs

在这个示例中：

• DBR BOTTOM 是相对于其自身结构而言处于底部，它位于底层 REGION 之上。
• DBR TOP 是相对于其自身结构而言处于顶部，它位于 DBR BOTTOM 之上，顶层 REGION 之下。

综上所述，要在器件整体层结构中确定 DBR 结构的位置，关键在于依据 REGION 语句和 DBR 语句的顺序，以及各区域在坐标上的定义来实现。