AI大数据分析在半导体工业制造的探索和实践
AI应用方向
在工业制造中,为了提升良率,工艺工程师们费尽心力,想了各种方法,不断探索,来控制稳定性,减少defect,提高效率,等等。
基础系统:MES,RTD/RTS/APS,EAP,SPC,AHMS,AGV
进阶系统:FDC,APC,DOE,RMS,YMS,MCS
引入AI的系统:R2R,APC
在Semicon智能制造论坛上,可以看到,时下最流行的话题是“Smart Factory”,无人化工厂。
AI可以应用于:工艺,制造执行,生产力,供应链,等等方面
AI for 工艺优化
一种典型场景是:
关键制作步骤STEP A的结果,会在一定范围内浮动,通过后续步骤STEP B可以进行微调,使得产品进入SPEC内。
而量测采样率低,无法得到每个产品STEP A的结果数据,STEP B有一定的盲区。
通过建立AI大数据模型,可以预测STEP A的结果数据,进而指导STEP B的工艺参数设定,提升产品良率。
工具:Apply R2R
AI for 生产力提升
设备智能调度
ERP:demand,capacity,planning
MES:机台,Yield