一、Merge
需要把gds进行merge。ICC生成出来的gds是没有IP以及stdcell的完整gds,需要merge,将这些gds拼接到一起,如果IP是工艺厂提供的,最终需要去工艺厂进行IP merge。
二、Fill
金属的密度在不同位置可能不同,不同的金属密度可能导致刻蚀对金属线产生不同影响,为保证所有金属线周围的环境相似,引入metal fill的概;metal fill会在空旷位置填充金属块,先进工艺不仅在金属层需要fill,部分底层layer也要fill
FEOL FILL:底层layer的fill
BEOL FILL:金属层的fill
加 fill 的影响?
增大了金属线寄生电容 -- delay --- timing