加速器之真空系统

真空系统介绍：

钛泵的工作原理：
真空的实质就是具有较低气体分子浓度的空间。因此, 只要降低空间的气体分子浓度就能获得真空, 而不必有实际上的排气过程。钛泵正是基于此原理制造的。通过加热、电离等方法使钛原子与空间气体分子发生一系列复杂的物理和化学反应, 使气体分子伴随钛原子一起沉积下来, 从而达到降低空间气体分子浓度的目的。这就是钛泵的基本工作原理。这与压缩泵的原理( 即将气体从一方压缩到另一方来获得真空) 有所不同。
图1 钛泵电源位置

图2 钛泵和磁铁（注意接线）

图3 钛泵电源内部结构图

图4 钛泵电源保险和电位器

图5 钛泵电源分机框图
图6 钛泵电源配电
图7 钛泵电流表

钛泵分机框图：

• 配电分机引入220V电源；RP1电位器刻度值是5.6；
• 钛泵高压输出，范围3.5-4.2KV，实际使用分压器测量值是4.29KV;
• 钛泵电流指示接到AFC分机；
• 24V和钛泵过流、钛泵欠压接入控制分机报警；
• 钛泵电流脉冲接入控制分机，程序进入AFC分机cpu224，HMI显示电流大小；

钛泵电源电路：

• 驻波加速管一般采用全密封结构，加速管内的真空度由一只钛泵维持，使用时需要一个直流高压电源和一个 U型磁铁，见图1、图2。

• 在钛泵电源回路中测得的钛泵工作电流可代表加速管内的真空情况，电流越大，代表真空度越差，见图7。

• 调制器通过接触器 KM1 和真空供电断路器 QF2 向位于 X 射线头内的钛泵电源模块提供AC220V 电源，见图6。

• 钛泵电源模块将电压升高至钛泵所需的电压，再通过高压线将高压传送到钛泵上。 交流220V电源经保险丝FU及电位器RP见图4接到钛泵电源变压器T1（220V/750V） 的原边，T1的输出经由电容 C17、C18、C19、C20 及高压整流二极管 V12、V13、V14、V15 组成的四倍压电路升压后，经限流保护电阻 R27、R28、R29，由硅橡胶高压引线接到钛泵的高压电极上，由钛泵附近的金属外壳处接一根地线至电路的地端，使钛泵电源与钛泵形成回路，见下图8：

• 图8 钛泵电源升压电路（四倍压）

• 钛泵高压调节有以下几种方法：调节 RP1 可改变 T1变压器的初级电压，从而改变倍压电路的输入电压，达到改变钛泵高压的目的。另外，更换 T1变压器初级、次级的抽头也可改变钛泵高压。钛泵高压应控制在3.4kV—4kV 之间（空载）。

• ==钛泵电流表：==钛泵电流检测信号采样电路与位于调制器 AFC 控制分机内的钛泵电流监测微安表并联，当微安表正常接入时， C21 经过微安表放电，使微安表的指针摆动，由此可以判断钛泵供电通路是否正常。可以通过它观测钛泵电流的大小。

• 钛泵取样电压信号由 R31 进入，先通过由N5（LM324）构成的电压跟随器和差分放大器，再进入比较器 N4（LM311）与基准值比较，其中 RP3 可以调节基准值的大小。当取样电压信号比基准值小时，N4输出翻转，给PLC 报钛泵欠压故障。
  -图9 钛泵欠压检测电路

• 钛泵真空故障检测：钛泵电流通过R35上的电压取样，经过电压跟随器N3后分成两路，一路通过LM311电压比较器与基准电压(RP1调节）进行比较，比较结果信号对应25μA 钛泵过流故障。另一路信号与基准电压(RP2调节）比较，通过AD654和光耦产生钛泵电流脉冲，输入到PLC高速计数，HMI显示钛泵电流值。（加速器程序已标注）

图10 钛泵电流检测信号采样电路

该加速器的核心部件S波段6MeV驻波加速管内须保持高真空状态。高真空是电子枪正常工作和电子能够顺利在加速管中加速的必要条件。如果，加速管中的高真空被破坏，电子枪的灯丝将会因为氧化而烧断，电子也会由于不断和空气分子碰撞而损失掉。
加速管中的真空是依靠一个真空钛泵来维持。加速器的任何供电模式都给钛泵供电，只有“急停”开关被按下时，才会断钛泵电源。钛泵在原理结构上，像是一个二极管，由一个阳极和两个阴极组成。在阴阳极间，加上约4~4.5kV的直流电压，将电子从阴极拉出来，并向阳极加速。被加速后的电子，与进入钛泵的空气分子发生碰撞。碰撞打出更多的电子，使电子与空气分子的碰撞不断进行下去。另外，电子碰撞空气分子产生的正离子被加速到带负电的阴极板上。这样，钛泵对加速管中的空气产生几种形式的抽气作用：1）有些离子有足够的能量，它们打到阴极板上后，被“埋”在了阴极板中；2）一些离子则对阴极的钛材料发生溅射作用，将钛分子溅射到钛泵的空腔内，在那里它们与空气分子结合形成固态物质；3）另外，还有一些更加复杂的过程发生，对气体也产生抽气作用。
钛泵磁铁的作用是使自由电子的运动经过一个较长的椭圆轨迹。这样增加电子与空气分子发生碰撞的几率，从而，提高钛泵的抽气效率。
从钛泵电流的大小可以确定加速管中真空的好坏。钛泵电源输出的高压加到钛泵上，钛泵电流通过地线回到钛泵电源，形成回路。
如果钛泵电流超过某限定值，将产生真空保护故障。真空保护故障发生，断加速器低压供电。