仪器仪表 | 高精度实现

于 2025-03-10 02:22:55 发布
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如何在仪器仪表应用中实现七位半准确度：第一部分

by David Guo 和 Owen Liu
2024-07-09

摘要

本文探讨了为仪器仪表应用设计高准确度设备所涉及的挑战，并介绍了由低 INL SAR ADC、全集成式超低温漂精密基准电压源、四通道匹配电阻网络和零漂移低噪声放大器构建的高准确度信号链解决方案。“如何在仪器仪表应用中实现七位半准确度：第二部分”, 将进一步深入探讨完整的设计解决方案以及测量结果。

简介

许多仪器仪表应用要求高准确度，例如数字万用表 (DMM)、三相标准表、现场仪表校准器、高准确度 DAQ 系统、电子秤 / 实验室天平、地震物探仪以及自动测试设备 (ATE) 中的源表 (SMU)/ 功率测量单元 (PMU) 等。这些应用需要以非常高的准确度测量直流或低频交流信号，大多数情况下，实现应用选择的相关元器件需具备低 INL、高分辨率、良好的稳定性和可重复性。在所有这些应用中，DMM 是最具代表性的应用。

为了构建七位半或更高准确度的 DMM，业界通常采用基于分立元器件搭建的多斜率积分 ADC。虽然此类 ADC 能够保证合理的测量准确度，但其设计和调试颇为复杂，因此许多工程师采用商用 ADC IC 来完成设计。在过去的十多年里，市场上的 24 位 Σ-Δ ADC 被广泛应用于六位半 DMM 的设计中。要想实现七位半准确度和线性度，就必须使用更高性能的 ADC。另一个挑战来自基准电压源，深埋型齐纳二极管基准电压源需要复杂的外部信号调理电路才能实现超低温度漂移。

本文将介绍由低 INL SAR ADC、全集成式超低温漂精密基准电压源、四通道匹配电阻网络和零漂移低噪声放大器构建的高准确度信号链解决方案。文中进行了准确度的理论分析和计算，可作为实际电路设计和测试的参考和指导。

高准确度 DMM 的主要直流指标参数

表 1 列出了市场上典型高准确度 DMM 的主要直流电压测量指标参数。主要的指标参数包括：

  • 输入量程：定义允许的输入信号范围。DMM 的各项规格参数和输入量程有关，输入量程有 1000 V、100 V、10 V、1 V 或 100 mV 等。10 V 为典型输入量程，此时 DMM 的各项参数性能较优。表 1 为 10 V 量程对应的各项指标参数。对于其他量程，可使用高准确度电阻将 1000 V 或 100 V 信号衰减至 10 V 量程，或者使用匹配良好的电阻阵列将 1 V 或 100 mV 信号放大至 10 V 量程。

  • 分辨率或位数：分辨率通常以百分比、ppm、或位数来表示。

    • DMM 的分辨率大多根据所显示的数字位数 (数位) 来指定。通常，这可能是由一个整数和 0.5 组成的数字，例如六位半。半位可以显示 0 或 1。

    • 典型的六位半表在 1 V 测量量程最高可以显示 1.199999。典型的七位半仪表在 10 V 测量量程最高可以显示 11.999999。

    • 对于某些产品，例如 ADC，分辨率通常以位数来表示。例如，24 位 ADC 会提供 2^24 个不同的值，即 16777216 个值。分辨率用数位表示为 lg (16777216) = 7.2。请注意，24 位 ADC 的有效分辨率通常小于 24 位，这意味着其有效数位小于 7.2。

  • 准确度：准确度用于衡量测量结果与真实值之间的一致程度。

    • 许多因素都会影响准确度，例如噪声、失调误差、增益误差和线性度等。就模拟信号链而言，信号链上的每个元器件都有这些误差，并且可能影响整个系统的误差或准确度。

    • 准确度指标可能随温度和时间而变化。24 小时准确度、1 年准确度和温漂可用于描述随时间和温度变化的准确度性能。这些参数决定了设备的稳定性和可重复性，即测量值是否随时间变化以及多次测量值是否一致。

    • 表 1 中的准确度是在 100 PLC 或 10 PLC (5 Hz) 的读取速率下测试的，其中，PLC 是工频周期，100 PLC 表示一个测量周期为 100/50 Hz，即 2 秒。

  • 线性度：用于衡量设备的输入和输出的线性关系。线性度可能会影响系统的准确度。

  • 噪声：系统噪声决定了 DMM 设备的最低有效数位。通常，此参数在 100 PLC 或 10 PLC 下进行测试。

    • 对于表 1 中所示的七位半 DMM2，10 V 输入量程 0.1 ppm，则噪声为 1 μVrms。这意味着，当输入端短路时，最低数位 (1 μV) 读数可能会发生变化，读数值为 00.00000X（X 会变化）。

对于高准确度信号链，信号链上的转换器、基准电压源、精密放大器和匹配电阻网络都会影响系统噪声和准确度。更多细节将在后续章节中讨论。

六位半 DMM七位半 DMM1七位半 DMM2八位半 DMM
数位6.57.57.58.5
输入量程 (V)10201010
分辨率 (ppm)10.10.10.01
24 小时准确度 (ppm)15 + 47 + 48 + 20.5 + 0.05
1 年准确度 (ppm)35 + 524 + 416 + 28 + 0.05
线性度 (ppm)33.51.50.1
噪声 (ppm)10.10.10.01
温漂 (ppm/°C)5 + 15 + 10.5 + 0.01

ADC

ADC 用于将模拟信号转换为数字码，是模拟域和数字域之间的桥梁。

表 2 列出了 10 V 输入量程下不同 DMM 的 ADC 有效分辨率要求。请注意，市场上大多数 DMM 的实际分辨率数位均小于理想分辨率数位。例如，七位半 DMM2 的实际分辨率为 7.1 数位（DMM 显示范围为 12000000），ADC 有效分辨率至少需要为 24.5 位（考虑到信号有正负，2 的 24.5 次幂 = 23726566，接近 24000000），10 V 输入量程的噪声应小于 1 μV rms。

六位半 DMM七位半 DMM1七位半 DMM2八位半 DMM
显示范围1,200,00021,000,00012,000,000120,000,000
分辨率（数位）6.17.37.18.1
ADC 分辨率21.225.324.527.8
噪声（10 V 量程）<10 μV rms<1 μV rms<1 μV rms<100 nV rms

表 3 列出了 ADI 公司高分辨率 ADC 的噪声指标和有效分辨率。

  • 对于六位半应用， AD7190 和 AD7175-2 是很好的 ADC 选择。

  • 对于七位半应用，AD7177-2 和 LTC2500-32 是很好的 ADC 选择。

  • AD4630-24

    的 INL 为 ±0.1 ppm 典型值（±0.9 ppm 最大值），显著优于其他 ADC。双通道、同步采样、2 MSPS SAR ADC AD4630-24 同时具有低噪声、低零漂和低增益温漂特性，是七位半信号链解决方案的最佳选择。

    • AD4030-24 是单通道 2 MSPS ADC， AD4632-24 是双通道 500 kSPS ADC， AD4032-24 是单通道 500 kSPS ADC。所有这些器件的 INL 性能都相似，单通道器件的噪声性能更优。
AD7190 （增益 = 1）AD7175-2AD7177-2LTC2500-32AD4630-24
REF (V)55555
5 Hz ODR 下的噪声 (nV rms)2507070
有效分辨率 (5 Hz ODR)24.024.027.1
60 Hz ODR 下的噪声 (nV rms)97023019019098
有效分辨率 (60 Hz ODR)23.224.025.625.626.6
有效数位 (60 Hz ODR)6.76.97.47.47.7
线性度 (ppm) 典型值 / 最大值1/5.01/3.51/3.50.5/20.1/0.9
其他优势PGIA 集成通带平坦 滤波器、SINC1～SINC4、SSINC 和均值滤波器均值 滤波器

基准电压源

基准电压源决定了系统准确度。温漂 (TC)、时漂 (LTD)、噪声和初始准确度是基准电压源的主要指标参数。

LTZ1000 和 LM399 具有良好的温漂和时漂指标参数，已经被广泛应用于高数位 DMM。支持高准确度的基准电压源还有很多选择：

  • ADR1399 的噪声和负载调整指标优于 LM399。

  • ADR1001 是一款完全集成、超低温漂、深埋型齐纳二极管精密 基准电压源。ADR1001 将 LTZ1000 所需的整个信号调理电路集成 到单个芯片中，使得整体解决方案面积显著减小，这简化 了设计流程。

  • ADR4550D 输出电压为 5V，初始准确度高。D 级的温漂和时漂指标参数优于 A/B/C 级。

所有这些基准电压源都是高准确度信号链的出色选择。

产品特性ADR1001AEZLTZ1000ACHADR1399ADR4550D
输出电压6.6 V 典型值 5 V 微调后7.2 V 典型值 Iz = 5 mA 时 7.15 V 典型值 Iz = 1 mA 时7.05 V 典型值5 V
输出电压噪声 (0. 1 Hz 至 10 Hz)0.6 μV p-p at 6.6 V 0.7 μV p-p (5.0 V 时)1.2 μV p-p1.44 μV p-p2.8 μV p-p
温漂ADR1000 内核 < 0.1 ppm/°C， 缓冲器 / 电阻输出 < 0.2 ppm/°C0.05 ppm/°C0.2 ppm/°C（典型值） 1 ppm/°C（最大值）0.8 ppm/°C （最大值）
初始准确度±0.05 V+0.3 V/–0.2 V Iz = 5 mA 时 +0.3 V/–0.25 V Iz = 1 mA 时0.25 V/–0.3 V±0.02%
长期漂移 (1000 小时)5 V 时为 - 4 ppm 6.6 V 时为 - 5 ppm2 μV√kHr7 ppm/√kHr5 ppm/√kHr
封装20 引脚陶瓷 LCC8 引脚 TO-5TO-46 8 引脚 LCC8 引脚 LCC
温度范围-40°C 至 + 125°C-55°C 至 + 125°C0°C 至 70°C0°C 至 70°C

放大器

许多运算放大器的某些误差指标在 ppm 量级，但没有一个运算放大器的所有误差指标都能达到 ppm 量级。例如，斩波放大器可提供 ppm 级的失调电压、DC 线性度和低频噪声，但其输入偏置电流和线性度随频率误差较大。双极性放大器具有低宽带噪声和良好的线性度，但其输入电流仍可能导致内部电路误差。MOS 放大器具有出色的偏置电流，但通常在低频噪声和线性度方面存在缺陷 1。

在实际电平搬移、衰减 / 放大和有源滤波器电路中，要满足 ±5 V 信号、适用于 1 kΩ 环境并达到 1 ppm 线性度，运算放大器需满足一些基本要求，如表 5 第二列所示。

除了表 5 列出的参数外，温漂和时漂也非常重要。ADA4522-2 和 ADA4523-1 采用自校准电路，具有低温漂（最大 0.01 µV/°C）以及低 时漂。

对于目标信号频率接近斩波放大器开关频率的应用，ADA4510-2 可能是个好的选择，其大多数指标都足够好，可以用在信号链的 任何位置。

指标数值ADA4522ADA4523-1ADA4510
Vnoise< 6 nV/√Hz5.8 nV/√Hz4.2 nV/√Hz5 nV/√Hz
Vnoise 0.1 Hz 至 10 Hz<1 ppm117 nV p-p88 nV p-p1 μV p-p
Inoise< 6 pA/√Hz0.8 pA/√Hz1 pA/√Hz4 fA/√Hz
Inoise 0.1 Hz 至 10 Hz<10 nA2.4 pA rms3.2 pA rms12 fA rms
25°C 时的 Vos<200 μV5 μV（最大值）5 μV （最大值）20 μV （最大值）
漂移最大值 Vos<0.5 μV/°C22 nV/°C10 nV/°C0.5 μV/°C
CMRR>100 dB145 dB （最小值）140 dB （最小值）121 dB （最小值）
CMRR 线性度>120 dB0.01 μV/V0.01 μV/V0.3 μV/V
25°C 时的 Ibias<200 nA150 pA （最大值）300 pA （最大值）10 pA （最大值）
Ibias 与 Vcm 线性度<1 nA to 5 nA2 pA/V2 pA/V0.2 pA/V
PSRR>90 dB150 dB140 dB121 dB
GBW>1000× 信号带宽2.7 MHz5 MHz10.4 MHz
线性输出电流>15 mA14 mA20 mA22 mA

匹配电阻网络

匹配电阻网络 LT5400 和 LT5401 具有非常低的匹配温漂和时漂指标，可与放大器配合使用，根据不同应用的要求配置模拟前端的增益。表 6 为 ADI 公司的匹配电阻网络产品。对于 LT5400，表中列出的是 B 级指标。LT5400 A 级的绝对电阻匹配比更优，其匹配温漂和时漂与 LT5400B 相同。

产品型号时漂（典型值）ppm电阻（欧姆）电阻比电阻匹配温漂 （典型值）ppm/°C
LT540184 × 350, 4 × 7001:2200 m
LT5400B-124 × 10 k1:1200 m
LT5400B-224 × 100 k1:1200 m
LT5400B-322 × 100 k, 2 × 10 k1:10200 m
LT5400B-424 × 1 k1:1200 m
LT5400B-524 × 1 M1:1200 m
LT5400B-622 × 1 k, 2 × 5 k1:5200 m
LT5400B-722 × 1.25 k, 2 × 5 k1:4200 m
LT5400B-822 × 1 k, 2 × 9 k1:9200 m
MAX549210 k 电阻分压器1:1 to 10:11.5
MAX5490100 k 电阻分压器1:1 to 100:11
MAX549130 k 电阻分压器1:1 to 30:12

AFE 电路（增益固定）

图 1 是 LTspice® AFE 电路，将 ±10 V 信号转换为 ADC 容许输入范围内的 2.5 V ± 2.5 V 差模信号。

  • U1 和 U3 是缓冲器，用于增加 AFE 电路的输入阻抗。

  • VCOM 提供 2.5 V 电压，将 AFE 输出偏置为正信号。

  • LT5400-7（2×1.25k、2×5k）将信号衰减 1/4，以使信号处于 ADC 输入范围内。

  • 放大器配置为环路内补偿电路，以驱动 SAR ADC。

  • 蓝色曲线（±10 V 输入）和红色曲线（±5 V 差分输出）是 LTspice 的仿真结果。

Figure 1. AFE circuit in LTspice.

图 1. LTspice AFE 电路

0.1 Hz 至～10 Hz 时，AFE 电路的噪声仿真结果为 32 nV rms，大概是 98 nV rms ADC 噪声的 1/3。

24 小时准确度分析 (Ta = 23 ± 1°C)

影响准确度的主要因素是两类误差：失调误差和增益误差。失调误差决定量程的不确定度，增益误差决定读数的不确定度。元器件贡献的绝对误差可以在系统级进行校准，而与温度和时间相关的误差则难以校准。

24 小时准确度主要由元器件的温度相关误差决定，通常规定为 ±（读数的百分比 + 量程的百分比）或 ±（读数的 ppm + 量程的 ppm）。

失调误差

失调误差造成的不确定性与信号无关。例如，假设输入信号为 0，最终的输出读数可能因放大器的失调漂移误差而有所不同。这意味着放大器的失调漂移误差会引起量程的不确定性。除了放大器的失调漂移之外，还需要考虑和分析电阻网络的温漂、 ADC 的零点漂移以及 ADC 的 INL。（请注意，ADC INL 被认为是失调不确定性，因为其非线性峰值未知）。

图 2 用于仿真 LT5400-7 的误差贡献：

  • 理论上，当输入为 0 V 时，AFE 电路的输出也应为 0 V。

  • 假设 R8/R9 和 R1/R7 之间的匹配度为 1 ppm，则输出将为 - 0.5 μV，即 - 0.1 ppm 误差。

  • 假设 R13/R12 和 R11/R10 之间的匹配度为 1 ppm，则输出将为 - 1.0 μV，即 - 0.2 ppm 误差。

  • LT5400-7 的最大电阻匹配比温漂为 ±1 ppm/°C，因此其失调误差贡献为 ±0.2 ppm/°C。

Figure 2. Simulating offset error by LT5400-7 matching TC.

图 2. 仿真 LT5400-7 匹配温漂带来的失调误差

表 7 总结了不同误差源带来的失调误差。

  • 总温漂误差 = √0.0022 + 0.0052 + 0.22 + 0.0072 ≈ 0.2 ppm/°C.

  • 考虑到温度不确定度为 ±1°C，故总温漂误差为 0.2 ppm。

  • 加上 0.9 ppm ADC INL 误差，总失调误差 = √0.22 + 0.92 ≈ 1 ppm.

误差源最大值失调误差
ADA4523 缓冲器±0.02 µV/°C（±10 V 范围）±0.002 ppm/°C
ADA4523 衰减器±0.025 µV/°C（±5 V 范围）±0.005 ppm/°C
LT5400 电阻匹配1 ppm/°C±0.2 ppm/°C
AD4630 零点漂移±0.007 ppm/°C（典型值）±0.007 ppm/°C
AD4630 INL±0.9 ppm±0.9 ppm

增益误差

增益误差造成的不确定性与信号大小有关。例如，假设输入信号为 0，最终输出读数可能不会因基准电压源失调漂移误差而有所不同。这意味着基准电压源的失调漂移误差会引起读数的不确定性。除了基准电压源的失调漂移之外，还需要考虑和分析 电阻网络的温漂、ADC 的增益误差漂移、基准电压源的滞回误差以及放大器的 CMRR。

图 3 用于仿真 LT5400-7 贡献的增益误差：

  • 理论上，当输入为 10 V 时，AFE 电路的输出 (OUT+OUT-) 应为 - 5 V。

  • 假设 R8/R9 与 R1/R7 之间的匹配度为 1 ppm，R13/R12 与 R11/R10 之间的 匹配度为 1 ppm，则输出为–3.5 µV，若扣除–1 μV 失调误差，则增益误差为–2.5 μV。

  • LT5400-7 的最大电阻匹配比温漂为 ±1 ppm/°C，因此增益误差贡献为 ±0.5 ppm/°C。

Figure 3. Simulating gain error by LT5400-7 matching TC.

图 3. 仿真 LT5400-7 匹配温漂带来的增益误差

ADA4523-1 的 CMRR 最小值为 140 dB，在 ±10 V 输入下，缓冲器的 Vcm 变 化为 ±10 V，U4 的 Vcm 变化为 0 V 至～4 V，有限的 CMRR 可能会随着输入变化而引起额外的增益误差。

温度变化为 ±1°C，因此可以忽略基准电压源的温度滞回误差。在工作温度范围较宽的其他应用中，需要考虑基准电压源滞回误差。

表 8 总结了不同误差源带来的增益误差。

  • 总温漂误差 = √0.52 + 0.22 + 0.072 ≈ 0.54 ppm/°C.

  • 考虑到温度不确定度为 ±1°C，故总温漂误差为 0.54 ppm。

  • 加上放大器 CMRR 误差和基准电压源温度滞回误差，总增益误 差 = √0.542 + 0.12 + 0.12 ≈ 0.6 ppm.

误差源最大值增益误差
LT5400 电阻匹配±1 ppm/°C±0.5 ppm/°C
ADR1001 TCVos±0.2 ppm/°C±0.2 ppm/°C
AD4630 增益温漂±0.07 ppm/°C （典型值）±0.07 ppm/°C（典型值）
ADA4523 缓冲器 CMRR140 dB CMRR±0.1 ppm
ADA4523 衰减器 CMRR140 dB 引起 ±0.5 µV（0 V 至 4 V Vcm）±0.1 ppm
ADR1001 滞回<<1 ppm<<1 ppm

根据分析，对于由 ADA4523-1 + LT5400-7 + AD4630-24 + ADR1001 组成的 信号链，估计 24 小时准确度 (Ta = 23 ± 1°C) 为 ±(0.6 ppm + 1.0 ppm)。从表 7 和表 8 可以得出如下结论：放大器的温漂、基准电压源的温漂、电阻匹配温漂和 ADC INL 对于整个系统的准确度都很重要。

1 年准确度 (Ta = 23 ± 5°C)

对于仪表来说，准确度会随着时间的推移而降低。这是因为元器件参数会随时间而变化，不确定性会按照时间的平方根增加。仪表准确度与时间的指标非常重要。通常将其规定为 ±（读数的百分比 + 量程的的百分比）或 ±（读数的 ppm + 量程的 ppm），时间可以为 30 天、90 天、1 年，工作环境温度为 23 ± 5°C。

温度引起的失调误差和增益误差

参考表 7，

  • 总温漂误差 = √0.0022 + 0.0052 + 0.22 + 0.0072 ≈ 0.2 ppm/°C.

  • 考虑到温度不确定度为 ±5°C，故总温漂误差为 1 ppm。

  • 加上 0.9 ppm ADC INL 误差，总失调误差 = √12 + 0.92 ≈ 1.35 ppm.

参考表 8，

  • 总温漂误差 = √0.52 + 0.22 + 0.072 ≈ 0.54 ppm/°C.

  • 考虑到温度不确定度为 ±5°C，故总温漂误差为 2.7 ppm。

  • 加上放大器 CMRR 误差和基准电压源温度滞回误差，总增益误 差 = √2.72 + 0.12 + 0.12 ≈ 2.70 ppm.

根据分析，对于由 ADA4523-1 + LT5400-7 + AD4630-24 + ADR1001 组成的 信号链，估计准确度 (Ta = 23 ± 5°C) 为 ± (2.70 ppm ± 1.35 ppm)。

失调误差和增益误差随时间的变化

不同元器件对时漂指标的测试条件不同。假设全年的工作温度为 28°C，则可以使用 Arrhenius 方程推导出 28°C 下的加速因子。加速因子计算公式如下

a = e x p [ E a k B ( 1 T o p − 1 T s t r e s s ) ] \begin{align} & a=exp\left[ \frac{{{E}_{a}}}{{{k}_{B}}}\left( \frac{1}{{{T}_{op}}}-\frac{1}{{{T}_{stress}}} \right) \right] \tag{1} \end{align} ​a=exp[kB​Ea​​(Top​1​−Tstress​1​)]​(1)​
Eaa 为 0.68 eV；kB 为玻尔兹曼常数 8.62×10-5eV/K；Top 和 Tstress 分别为工作温度和应力测试温度，单位为 K。

以 LT5400 为例，数据手册显示 2000 小时、35°C 下，其电阻匹配比的时漂指标参数为 < 2 ppm，可使用式 1 来计算其 1 年在 28°C 下的漂移值。加速因子：

a = e x p [ 0.68 8.62 × e − 5 ( 1 301 − 1 308 ) ]  =1.81 (2) a=exp\left[ \frac{0.68}{8.62\times {{e}^{-5}}}\left( \frac{1}{301}-\frac{1}{308} \right) \right]\text{ =1.81} \tag{2} a=exp[8.62×e−50.68​(3011​−3081​)] =1.81(2)

这意味着 28°C 时，2000×1.81 = 3629 小时的漂移指标参数为 < 2 ppm，那么 1 年（8760 小时）后，LT5400 可能会漂移 √8760/3629 × 2 ppm = 3.1 ppm

同理，ADR1001 在 1000 小时、25°C 下的时漂指标参数为 4 ppm，1 年后 ADR1001 可能会漂移 13 ppm。ADR1399 在 1000 小时、25°C 下的时漂指标参数为 7 ppm，1 年后 ADR1399 可能会漂移 23 ppm。

ADA4523-1 的平均时漂 < 0.03 μV。

表 9 显示，28°C 时 1 年后的估计准确度为 ± (13.1 ppm + 0.62 ppm)。

综合温度带来的不确定性 ± (2.70 ppm + 1.35 ppm) (Ta = 23 ± 5°C)，最终 1 年准确度为：± (13.4 ppm + 1.5 ppm)。

误差源1 年的元器件漂移失调误差增益误差
ADA4523 缓冲器±0.03 μV±0.003 ppm
ADA4523 衰减器±0.03 μV±0.006 ppm
LT5400 电阻匹配±3.1 ppm±0.62 ppm±1.55 ppm
ADR1001±13 ppm±13 ppm
总计±0.62 ppm±13.1 ppm

表 10 总结了 ADA4523-1 + LT5400-7 + AD4630-24 + ADR1001 的理论准确度指标参数，与市场上的典型七位半 DMM 的指标参数相近。

输入量程 (V)24 小时准确度 (ppm)1 年准确度 (ppm)噪声 (ppm)温漂 (ppm/°C)
ADA4523-1 + LT5400-7 + AD4630-24 + ADR1001100.6 + 113.4 + 1.50.10.54 + 0.2
七位半 DMM2108 + 216 + 20.15 + 1

结论

我们的理论分析和计算说明，利用 0.1 ppm INL 2 MSPS SAR ADC AD4630、 全集成超低温漂 ADR1001、低噪声零漂移 ADA4523-1 和 1 ppm/°C LT5400 等 器件构建的信号链可以实现出色的准确度性能。在 “如何在仪器仪表应用中实现七位半准确度：第二部分” 中，我们将详细介绍完整的设计解决方案以及测量结果。

如何在仪器仪表应用中实现七位半准确度：第二部分

by David Guo 和 Owen Liu
2024-07-09

摘要

本文将探讨设计高准确度仪器仪表设备所涉及的挑战，并介绍了由低 INL 逐次逼近型模数转换器、全集成式超低温漂精密基准电压源、四通道匹配电阻网络和零漂移低噪声放大器组成的高准确度信号链解决方案及其测量结果。

简介

在对准确度有很高要求的行业里， 七位半或更高分辨率的数字万用表 (DMM) 会被使用，这些 DMM 采用由分立元器件搭建的多斜率积分 ADC。这些 ADC 虽然可以提供合理准确度的测量结果，但对于大多数工程师来说，其设计和调试过程往往过于复杂，因此许多工程师会选择商用 ADC 来简化设计。

在过去的十年里，24 位 Σ-Δ ADC 被广泛应用于六位半 DMM 设计中。然而，要想实现七位半准确度和线性度，就必须使用更高性能的 ADC。此外，基准电压问题也带来了挑战，深埋型齐纳二极管基准电压源需要复杂的外部信号调理电路来实现超低温度漂移。

这些情况也适用于其他各种有高准确度需求的应用，例如三相标准表、现场仪表校准器、高准确度数据采集 (DAQ) 系统、实验室电子秤、地震物探仪以及自动测试设备 (ATE) 中的源表 (SMU)/ 功率测量单元 (PMU)。

本文将介绍由低 INL SAR ADC、全集成式超低温漂精密基准电压源、四通道匹配电阻网络和零漂移低噪声放大器组成的高准确度信号链解决方案。我们会提供若干主要指标的实际测量结果，并讨论几个典型应用供读者参考。

解决方案和评估系统简介

高准确度解决方案的评估系统由两块板组成：一块七位半高准确度信号链板和一块控制板。

  • 首先，输入信号经过 EMI 滤波器进行差模和共模滤波。然后，信号进入 AFE 信号调理电路，以转换到 ADC 输入范围内。该 AFE 电路可确保实现超低温度漂移、超低噪声和准确增益，并能很好地驱动 SAR ADC。为保障系统准确度和温度漂移特性，采用 ADI 公司的恒温控制精密基准电压源 ADR1001 来为 ADC 提供 5 V 基准电压，并为 AFE 电路提供 2.5 V 共模电压。

  • 模数转换器选用了 ADI 最新的兼具低 INL 和高分辨率的 SAR ADC AD4630-24。

  • 控制板从 ADC 收集数据，并将其传输到 PC。ADI EVAL-AD4630-24 的 ACE 软件可用于配置 AD4630（采样速率、ADC 通道、采集模式）以及分析 ADC 数据。

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图 1. 七位半高准确度信号链板

图 2 为评估系统框图。信号由直流源产生后，送入信号链板，控制板负责采集数据并将其通过 USB 传送到 PC。
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图 2. 评估系统框图

图 3 为八位半 DMM 测得的直流源线性度曲线。DMM 的读取速率设置为 500 PLC（工频周期）。进行 2 点校准消除失调误差和增益误差后，直流源与 DMM 总的线性误差在 ±0.1 ppm 范围内，表明直流源性能优异。该直流源可用于评估七位半高准确度信号链的性能。

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图 3. 直流源 + 八位半 DMM 的线性度

测试结果

为了全面评估信号链板的性能，测试分四步进行：噪声测试、线性度测试、温漂 (TC) 测试和 24 小时准确度测试。

噪声测试

评估信号链板性能的初始步骤是测试其噪声特性，为后续测试奠定基础。因为当系统噪声升高时，可能导致测量的线性度和准确度发生轻微变化，造成整体性能下降。我们共测量了四块板，其中两块板的 AFE 电路采用 ADI 公司的 ADA4522, 另外两块板采用 ADA4523-1。具体实验设置如下：

  • 电路板的两个输入引脚短接到地。

  • ADC 的采样速率设置为 62.5 kHz 或 1 MHz，ADC 的均值寄存器配置为 4096 或 65536。最终输出速率固定在 15 Hz。

  • 取三个样本的平均值得到一个数据点，读取速率为 5 Hz、10 PLC。总共收集 50 个数据点来计算有效值噪声。

ADR1001 用作本次实验的基准电压源。

表 1 为四块板的实测噪声。

  • ADA4523-1 板的噪声低于 ADA4522 板。在 62.5 kHz FS 下，ADA4523-1 板的噪声约为 500 nV rms，即 0.05 ppm 噪声 (500 nV rms/10 V)。

  • 如果提高采样速率（例如 1 MHz，约为 62.5 kHz 的 16 倍），并将输出速率保持在 15 Hz 不变，噪声水平可以降低到大概四分之一。这与过采样理论的原理一致。

板号实测总噪声 (FS = 62.5 kHz)实测总噪声 (FS = 1 MHz)
板 1 (ADA4522)727.27 nV242.42 nV
板 2 (ADA4523-1)530.73 nV122.02 nV
板 3 (ADA4522)818.18 nV318.18 nV
板 4 (ADA4523-1)439.39 nV121.21 nV

图 4 为输入变化时板 3、板 4 的有效值噪声，此时读取速率为 10 PLC (FS = 1 MHz).

  • 如橙色曲线所示，ADA4523-1 板的噪声较低。

  • 两条曲线表明，总有效值噪声会随着输入信号的增加而增加。这可能是由以下两个原因造成的：(1) 随着输入 (VIN) 的提高， VIN/VREF 比率增大，导致 VREF 噪声对整体系统噪声的贡献更大；(2) 输入信号来自直流源，但直流源并不理想，其输出有效值噪声可能会随着输出信号幅度的增加而增加。

  • 曲线不是单调的，两条曲线具有相似的特征。这可能是由直流源的非理想特性引起的。

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图 4. 输入变化时的有效值噪声（10 PLC 读取速率）

线性度测试

ADA4522/ADA4523-1 + AD4630-24 + ADR1001 的评估

在线性度测试中，ADC 采样速率设置为 62.5 kHz，均值寄存器设置为 4096，输出数据速率为 15 Hz，采集 30 个样本，读取平均值，对应 100 PLC 的读取速率。

直流源产生 ±9 V 信号作为输入。选择 ±9 V 输入信号是为了同时比 较 ADR1001、ADR1399 和 ADR4550 D 级的性能。板 2 (ADA4523-1) 的结果如表 2 所示。

输入电压 (mV)ADC 读数校准后的输入电压读数误差 (ppm)
9000–483369652.3–90000
8000–429662903.8–7999.9998730.0141
7000–375956223.4–7000.001015–0.1128
6000–322249399.4–5999.9994820.0576
5000–268542733–5000.000884–0.0982
4000–214835963–4000.000357–0.0396
3000–161129232.7–3000.00057–0.0633
2000–107422478.8–2000.000342–0.0379
1000–53715760.87–1000.000785–0.0872
0–8977.03300
0–7377.03300
–100053699320.73999.9992934–0.0785
–2000107406047.81999.999132–0.0964
–3000161112827.22999.999945–0.0061
–4000214819567.74000.0000340.0038
–5000268526316.75000.0002820.0313
–60003222329875999.999065–0.1039
–7000375939825.37000.0009740.1083
–8000429646511.38000.0000480.0053
–9000483353244.490000

第一列是输入电压，第二列是 ADC 读数，第三列是对 ADC 读数进行 2 点校准后获得的实测电压，第四列是满量程线性度。表 2 看出，整个系统的线性度为 0.11 ppm。

四块电路板的线性度如图 5 所示。如图所示，四块电路板的线性度均不超过 0.2 ppm，与 AD4630-24 的典型 INL 指标相匹配。0.2 ppm 的线性度优于目前七位半 DMM 的 1.5 ppm 线性度。
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图 5. 采用 ADR1001 的线性度 (100 PLC)

ADC 采样速率设置为 62.5 kHz，均值寄存器设置为 1024，输出数据速率为 60 Hz，采集 12 个样本，读取平均值，对应 10 PLC 的读取速率。此设置通常会带来更高的噪声，如图 6 所示，线性度降低至 ±0.32 ppm。

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图 6. 采用 ADR1001 的线性度 (10 PLC)

ADA4522/ADA4523-1 + AD4630-24 + ADR1399

ADR1399 的性能与 ADI 公司的 LM399 类似，后者广泛用于高准确度 DMM。为了评估 ADR1399 作为 ADC 基准电压源的性能，我们断开 ADR1001 输出与 ADC 的连接，ADR1399 子板通过 SMA 连接器连接到信号链板。通过此连接向 ADC 提供基准电压，并向信号调理电路提供偏置电压。ADR1399 的典型输出电压为 7 V，LT5400-1 用于衰减 ADR1399 的输出，以获得 4.67 V 的 ADC 基准电压和 2.33 V 的偏置电压。因此，测试中使用 ±9 V 输入电压量程。

每个信号链板均配备单独的 ADR1399 子板。板 1 和板 2 的 ADR1399 封装为 LCC，板 3 和板 4 的 ADR1399 封装为 TO-46。

图 7 是 100 PLC 下 ADR1399 的线性度，在 ±0.3 ppm 以内。与 ADR1001 的 0.2 ppm 相比，ADR1399 的 0.3 ppm 稍差一些，但仍然低于典型七位半 DMM 的 1.5 ppm 线性度。此外，ADR1399 的 LCC 封装和 TO-46 封装在线性 度测量结果方面没有表现出很大差异。
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图 7. 采用 ADR1399 的线性度 (100 PLC)

ADA4522/ADA4523-1 + AD4630-24 + ADR4550D

将 ADR4550D 子板连接到板 3 和 4，以测量线性度指标。图 8 显示，线性度在 ±0.4 ppm 以内。

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图 8. 采用 ADR4550D 的线性度 (100 PLC)

温漂测试

典型七位半 DMM 的温漂为 5 ppm + 1 ppm；典型八位半 DMM 的温漂为 0.5 ppm + 0.01 ppm

ADA4522/ADA4523-1 + AD4630-24 + ADR1001

系统的温漂在 100PLC 读取速率条件下来测量。将测试板放入恒温箱，温度设定为 40°C。待恒温箱温度稳定后，通过直流源输入 0 V+、5 V、9 V、0 V-、-5 V、-9 V 信号，并通过 ACE 软件读取 ADC 读数。然后，将温度设置为 23°C 和 0°C，重复上述测试。增益误差和失调误差的温漂按照以下公式计算。请注意，表 3 中的 ADC 读数值为 ADC 读数乘以 9.313 nV（1LSB）。ADC 读取的值与输入电压之间有 0.5 倍的增益，所以分母是输入电压的一半。

增益误差

Gain Error = ADR reading error × 9.313  nV Input voltage 2 / ( T − T 0 ) ( 1 ) \text{Gain Error} = \frac{\text{ADR reading error} \times 9.313 \text{ nV}}{\frac{\text{Input voltage}}{2}} / (T - T_0) \quad (1) Gain Error=2Input voltage​ADR reading error×9.313 nV​/(T−T0​)(1)

偏移误差

Offset Error = ADR reading error × 9.313  nV 10  V / 2 / ( T − T 0 ) ( 2 ) \text{Offset Error} = \frac{\text{ADR reading error} \times 9.313 \text{ nV}}{10 \text{ V}/2} / (T - T_0) \quad (2) Offset Error=10 V/2ADR reading error×9.313 nV​/(T−T0​)(2)

输入电压ADC 读数 at T = 40°ADC 读数 at T0 = 0°ADC 读数误差ppm/°C误差类型
0 V+5655.75802.767147.0670.0068481749失调
5 V–268593323.267–268587481.1675695.0330.5303784233增益
9 V–483472282.7–483461764.13310371.50.5366098861增益
0 V–7360.1677428.968.7330.0032005521失调
–5 V268606411.1268600957.167–5522.666–0.5143258846增益
–9 V483485748.533483476016.2–9801.066–0.5070962648增益
输入电压ADC 读数 at T = 23°ADC 读数 at T0 = 0°ADC 读数误差ppm/°C误差类型
0 V+5738.5802.76764.3670.0052126076失调
5 V–268590538.167–268587481.1672992.6330.4847024544增益
9 V–483467520.6–483461764.1335692.10.5121790077增益
0 V–73487428.980.90.0065514930失调
–5V268603652.3268600957.167–2776.033–0.4496207883增益
–9 V483480833.567483476016.2–4898.267–0.4407493775增益

采用不同基准电压源的电路板的温漂结果如图 9、图 10 和图 11 所示。

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图 9. 采用 ADR1001 的温漂结果

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图 10. 采用 ADR1399 的温漂结果

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图 11. 采用 ADR4550D 的温漂结果

表 4 比较了 ADR1001、ADR1399 和 ADR4550D 的温漂结果。根据之前的准确度分析并结合实验数据，我们得知：

  • LT5400 会影响失调误差温漂。必须强调的是，在这方面，采用不同基准电压源的结果没有明显区别。

  • LT5400 和基准电压源会影响增益误差温漂。采用 ADR1001 的信号链板具有较出色的温漂性能。就温漂而言，ADR1399 和 ADR4550D 比 ADR1001 稍逊一筹。

采用 ADR1001 的电路板采用 ADR1399 的电路板9 的电路板采用 ADR4550D 的电路板典型七位半 DMM典型八位半 DMM
失调误差 / 量程误差 (ppm/°C)0.0170.0160.0110.01
增益误差 / 读数误差 (ppm/°C)0.591.121.4450.5

24 小时准确度测试

典型七位半 DMM 的 24 小时准确度为 8 ppm + 2 ppm，而八位半 DMM 的 24 小时准确度为 0.5 ppm + 0.05 ppm。

ADA4522/ADA4523-1 + AD4630-24 + ADR1001

24 小时准确度是在 100PLC 读取速率下来测量的。首先，将测试板放入恒温箱，温度设定为 23°C。待恒温箱温度稳定后，通过直流源输入 0 V+、5 V、9 V、0 V–、-5 V、-9 V 信号，并通过 ACE 软件读取 ADC 数据。24 小时后，重复此测试。计算 24 小时准确度的增益误差和失调误差与确定温漂误差的过程类似，与前者的区别是没有温度变化。

信号链板的 24 小时准确度结果如图 12、图 13、图 14 所示。

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图 12. 采用 ADR1001 的 24 小时准确度结果

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图 13. 采用 ADR1399 的 24 小时准确度结果

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图 14. 采用 ADR4550D 的 24 小时准确度结果

表 5 比较了 ADR1001、ADR1399 和 ADR4550D 的 24 小时准确度结果。根据之前的准确度分析并结合实验数据，我们得知：

  • LT5400 会影响失调误差，并且不同基准电压源之间没有任何明显差异。

LT5400 和基准电压源的时漂会影响增益误差。在所有电路板中，ADR1001 的 24 小时准确度性能更优，而 ADR1399 和 ADR4550D 的准确度低于 ADR1001。

采用 ADR1001 的电路板采用 ADR1399 的电路板采用 ADR4550D 的电路板典型七位半 DMM典型八位半 DMM
失调误差 / 量程误差 (ppm/°C)0.070.090.220.05
增益误差 / 读数误差 (ppm/°C)0.551.849.2380.5

应用聚焦：DMM（数字万用表）

表 6 比较了信号链板与典型高准确度 DMM 的指标参数：

  • ADA4523-1 + AD4630 + ADR1001 或 ADR1399 的实测性能优于七位半 DMM。

  • ADA4523 + AD4630 + ADR1399 的 24 小时准确度、线性度和温漂略逊 于采用 ADR1001 作为基准的系统。

  • 1 年准确度值是根据先前计算得出的理论估计值。基准电压源的时漂会大幅影响这些指标参数。为了减轻时漂对 1 年准确度的影响，元器件或电路板在安装和交付给客户之前都会经过老化测试。此过程有助于消除元器件早期的较大漂移。

六位半 DMM七位半 DMM1七位半 DMM2八位半 DMMADA4523-1 + AD4630 + ADR1001ADA4523-1 + AD4630 + ADR1399
位数6.57.57.58.57.57.5
输入量程 (V)10201010109
分辨率 (ppm)10.10.10.010.050.05
24 小时准确度 (ppm)15 + 47 + 48 + 20.5 + 0.050.55 + 0.071.84+0.09
1 年准确度 (ppm)35 + 524 + 416 + 28 + 0.0513.4 + 1.5 （理论）23.1 + 1.5 （理论）
线性度 (ppm)33.51.50.10.20.3
噪声 (ppm)10.10.10.010.050.05
温漂 (ppm/°C)5+15+10.5 + 0.010.59 + 0.0171.12+0.016

实际的 DMM 仪器设备比本文讨论的更复杂，其中还会额外包含用于输入保护以及测量电压、电流和阻抗的电路，这会引入更多的不确定性。本文重点介绍相对简单的信号链配置，以展示特定器件的性能。设计工程师在研发高准确度设备时，可以使 用这些结果作为参考。

应用聚焦：现场仪表校准器

压力计、温度计和过程仪表等现场仪表需要校准。校准器集成了高准确度直流信号测量模块。下表列出了用于测量 ±10 V 电压时，校准器的典型指标参数，相关参数与表 6 中的七位半 DMM 指标类似。ADA4523-1 + AD4630 + ADR1001/ADR1399 + LT5400 也可用于现场仪表高准确度校准器中的测量模块。

量程读取速率分辨率24 小时准确度 (20 ± 1)°C1 年准确度 (20 ± 1)°CTC
±10 V低1 μV2 ppm + 0.05 ppm14 ppm + 0.08 ppm1 ppm + 0.3 μV
中1 μV2 ppm + 0.35 ppm14 ppm + 0.38 ppm
高10 μV2.6 ppm + 1.05 ppm14.6 ppm + 1.08 ppm

应用聚焦：三相标准表

测试单相或三相功率表和电能表时，标准电表用作参考级标准。为了进行准确测试，该器件在电源频率（50 Hz 或 60 Hz）下需要具有非常高的准确度。表 8 列出了三相标准表的典型指标。对于 ADA4523-1 + AD4630 + ADR1001 信号链，24 小时电压准确度和漂移指标与这些标准表相似。

标准电表 1标准电表 2ADA4523-1 + AD4630 + ADR1001
基频15 Hz 至～70 Hz40 Hz 至～1000 Hz50 Hz
24 小时电压 准确度时漂40 ppm + 10 ppm 0.5 ppm/K <15 ppm / 年12 ppm + 8 ppm 0.4 ppm/K 15 ppm / 年14 ppm + 1 ppm 0.54 ppm/K 15 ppm / 年（理论）

应用聚焦：高准确度数据采集器

数据采集器可用于实现多种测量和控制功能。为了在不同幅度和频率下高准确度地测量电压、热电偶和电流，通常使用 24 位 ADC。

硬件设计人员在开发这些数据采集信号链时，通常需要高输入阻抗，以直接连接多种传感器。在这种情况下，通常需要增益可编程使电路适应不同的输入信号幅度 —— 单极性或双极性和单端或差分信号，具有可变共模电压。大多数 PGIA（可编程增 益仪表放大器）由单端输出组成，该输出不能直接驱动基于全差分、高准确度 SAR ADC 架构的信号链，需要至少一个信号调理或驱动级放大器。

图 15 为 PGIA AFE 解决方案 1：

  • 选择 ADA4523-1 和 LT5400/LT5401 是因为其温漂指标性能比较出色。

  • 选择 ADG5234 是因为其电容较低。

  • 第一级增益为 1 或 5，第二级增益也是 1 或 5。通过切换 ADG5234，总增益可以是 1、5 或 25。

  • 最后一级由 ADA4523-1 和 LT5401 组成，将信号衰减到 ADC 输入范围内。

  • 结合 AD4630-24 和 ADR4550B 使用时，该信号链可用于高准确度数据采集器应用。

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图 15. PGIA 电路 1

表 9 列出了不同输入量程和输出数据速率 (ODR) 情况的噪声指标参数。组合使用 ADA4523-1、AD4630 和 ADR4550B/LTC6655LN 可显著降低噪声水平，尤其是在 ±5000 mV 量程和 ±1000 mV 量程内。

ODR (Hz)量程 (mV)传统数据采集器有效值噪声 (μV)PGIA 电路 1 RTI 有效值噪声 (μV) (ADR4550B)PGIA 电路 1 RTI 有效值噪声 (μV) (LTC6655LNB)
15000±5000 ±1000 ±20011.8 2.6 1.03.3 1.08 0.933.0 1.08 0.93
50±5000 ±1000 ±2000.88 0.2 0.080.15 0.07 0.060.15 0.06 0.06
5±5000 ±1000 ±2000.28 0.07 0.030.08 0.03 0.020.08 0.03 0.02

此外，信号链的线性度和 0°C 至～40°C 温度范围内的准确度非常 出色。参见表 10，ADA4523-1 + AD4630 + ADR4550B/LTC6655LN 实现的准 确度，比传统数据采集器常见的 400 ppm 指标高出十倍。

线性度， 0°C 至～40°C (ADR4550B)线性度， 0°C 至～40°C (LTC6655LNB)准确度 (ADR4550B)准确度 (LTC6655LNB
增益 = 10.39 ppm0.24 ppm±(42 ppm + 2.9 ppm)±(54 ppm + 6.1 ppm)
增益 = 50.16 ppm0.12 ppm±(45 ppm + 4.6 ppm)±(54 ppm + 5.4 ppm)
增益 = 251.31 ppm2.26 ppm±(48 ppm + 14 ppm)±(58 ppm + 14 ppm)

图 16 为另一种 PGIA AFE 解决方案，使用了两级电路来降低电路的噪声。该电路通过使用不同的 LT5400-X 器件提供各种增益选项，用户可根据具体要求配置不同的增益。

  • 连接多路复用器的 S1A 时，增益 = 1

  • 连接多路复用器的 S3A 时，增益 = 5

  • 连接多路复用器的 S2A 时，增益 = 21

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图 16. PGIA 电路

表 11 比较了 PGIA 电路 1 和电路 2 的 RTI 有效值噪声。电路 2 在高增益和高 ODR 情况下表现出较低的噪声。两个 PGIA 电路的线性度和 0°C 至～40°C 温度范围内的准确度测试结果相似。

ODR (Hz)增益PGIA 电路 1 RTI 有效值噪声 (μVPGIA 电路 2 RTI 有效值噪声 (μV)
190001 25 或 213.31 1.083.37 0.82
501 25 或 210.155 0.0580.159 0.051
51 25 或 210.083 0.0180.085 0.018

结论

DMM 等精密仪器应用通常使用 Σ-Δ ADC。然而，由于 INL 指标的限制，实现更好的线性度和更高的准确度可能很困难。此外，深埋型齐纳二极管基准电压源的外部信号调理设计过于复杂，对于寻求提升现有产品性能的客户来说是一个瓶颈。

通过利用 0.1 ppm INL 2 MSPS SAR AD4630-24、全集成式超低温 ADR1001、低噪声零漂移 ADA4523-1 和 1 ppm/°C LT5400 等器件，模拟前端信号链可以实现非常出色的指标性能：0.6 ppm 24 小时准确度、0.2 ppm 线性度、0.05 ppm 噪声和 0.6 ppm/°C 温漂。这些实际测量结果与本系列文章第一部分中介绍的理论分析和计算基本吻合。因此，该信号链适用于各种高准确度应用，包括 DMM、现 场仪表校准器、三相标准电表和高准确度数据采集器等。

参考资料

关于作者

David Guo

David Guo 是 ADI 公司位于北京的中国应用支持部门的一名现场应用工程师。获得北京理工大学机电工程硕士学位后，他在长峰集团工作过两年，担任导航终端硬件工程师。他于 2007 年加入 ADI 公司。

Owen Liu

Owen Liu 于 2021 年加入 ADI（上海）公司，担任应用工程师，负责为精密 DAC、精密放大器、多路复用器和基准电压源产品提供技术支持。他毕业于天津大学，获电气工程硕士学位。

DMM（数字万用表）精度 5 位半和 6 位半的涵义

lovebeyond1014 于 2013-05-19 14:52:30 发布

img

如图所示，这是一个 5 位半的数字万用表。

它可以显示的数值范围为 -199999 到 199999，包括小数位。

其中，第一位为半位，仅能显示正负号以及数字 0 和 1；

其余位为满位，包含 8 个数码管（7 段数码管 + 1 个小数点），能显示 0～9。

因此，一个 6 位半数字万用表可以显示的数值范围为 -1999999 到 1999999。

例如，测量微小电流（如 uA 级别）时，至少需要 6 位半的精度，才能精确到 0.000001A。

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