原文链接:探针卡的类型及其在半导体测试中的应用
I. 引言
在半导体行业,确保每个芯片都符合高标准至关重要。探针卡在此过程中起着至关重要的作用,它将测试设备连接到晶圆电路,并在进一步的制造步骤之前评估每个电路的功能。这确保及早发现和移除有缺陷的电路,这不仅可以提高产量,还可以保持最终产品的质量和可靠性。
本文将探讨半导体测试中使用的主要探针卡类型,研究每种类型的独特设计、优势和最佳应用,以便帮助您根据特定的测试需求选择合适的探针卡。
II. 什么是探针卡?
探针卡是一种将自动测试设备 (ATE) 连接到晶圆的接口设备,便于测试半导体晶圆上的单个电路。它由一系列与被测电路接触的精细探针或针头组成,可以测量信号完整性、功率和功能等电气特性。
探针卡的类型
探针卡的核心组件
探针/针: 与晶圆电路直接相互作用的精细金属触点。
印刷电路板 (PCB): 提供结构支撑,通过探针卡布置信号路径。
对准机制: 高精度部件,确保探针与晶圆上的每个测试点准确、一致地接触。
探针卡的有效性取决于其设计以及与特定测试要求的兼容性。以下部分将详细介绍探针卡的主要类型、其优点和理想应用。
III. 探针卡的类型
选择探针卡取决于器件复杂程度、频率要求和成本考虑等因素。下面将深入了解每种类型的探针卡,以及它们独特的结构、优点和应用场景。