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PIMars六轴压电平台系统

六自由度高精度纳米定位系统

P-562.6CD

 6个运动轴：3个为线性，3个为旋转

 行程达200微米(线性)和1毫弧度(偏

摆角)

 并联运动实现更快的响应时间和更高的

多轴精度

 电容式传感器带来最高线性度

 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

 优异的扫描平面度

 通孔尺寸66 毫米×66 毫米

 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿

命

-9

 超高真空兼容至10 百帕

应用领域

 扫描显微镜

 超分辨率显微镜

 生物技术

 掩模/ 晶圆定位

 样本定位

 干涉测量

 计量

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统

的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。

它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动

导向)。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

07.06.2018

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可

实现极低的排气率。

规格

P-562.6CD 单位 公差

主动轴 X，Y，Z，θ ，θ ，θ

X Y Z

运动和定位

集成传感器 电容式

X、Y、Z向上的闭环行程 200 微