光学efl_离轴反射式光学系统——离轴反射式光谱仪

写在前面：

前面《光刻机镜头光学设计探秘. 第二部分EUV》文中解释的光学系统为6片式离轴非球面反射系统，通过它我们了解到了离轴反射系统的独特魅力。

由于共轴反射系统光束遮挡，有很多应用场景也都要使用离轴反射系统，当然，这些应用不需要EUV光学系统这么高的复杂度，其中就以离轴三反这种应用居多。本文以离轴三反成像系统的表亲——便携式光谱仪光路为例，简介离轴反射式系统的Zemax建模方法。

当然，光谱仪光路也是光通信器件中MEMS Tunable Filter/WSS/DGM等模块的基本光路形态。

提示：本文将用到较多Coordinate Break，请同学们尽量先熟悉Zemax中Coordinate Break面型定义和坐标变换的基本方法，要么看起来会有点懵…

Keywords:

Off Axis Reflecting System, OpticalSpectrum Analyzer

抛物面反射镜：

照我的习惯，还是从最基本的定义开始。

抛物线定义：到定点与定直线距离相等的点的轨迹，其中定点为抛物线焦点，定直线为抛物线准线。