平面度的测量与评定方法概述
平面度误差是指实际被测平面与理想平面的距离。平面度误差的测量方法和直线度误差的测量方法类似。包括间隙法、指示器法、光轴法、干涉法、液面法、水平仪法、自准直仪法和坐标测量法。与直线度误差测量方法类似,平面度测量方法按照其测量原理可分为相同的三种方法。只有第三种方法需要对测得数据进行分析,才能获得平面度误差。根据处理测量数据方法的不同,又可分为两类。一类是测量点的测量结果不需要经过累积计算或坐标转换等处理,测量点测量结果可看作是相互独立的,如坐标测量机法、光轴法、钢丝法。另一类测量点直接测量的结果需要经过累积计算或坐标转换等处理如水平仪法、自准直仪法等。其单点测量不确定度的确定方法也和直线度误差相同。
平面度的评定方法包括最小包容区域法、最小二乘平面法、对角线平面法和三远点平面法。
1.最小区域法
最小区域法是指用相互平行的两个平面包容实际被测平面,这两个平面的距离的最小值即为最小区域法评定出的平面度误差。这两平面遵循的原则是这两平行平面和被测平面至少有四个接触点。这四个点需满足交又准则或三