光谱分析软件_X射线荧光光谱分析仪(X Ray Fluorescence)的 共元素干扰分析

X射线荧光光谱分析(X Ray Fluorescence)仪，简称XRF，是公认的RoHS筛选检测首选仪器，由于其检测速度快、实施无损检测，所以被广泛采用。但由于其容易受共元素干扰，导致量测误判。本文对素玻璃进行实验，介绍了XRF的原理、共元素干扰种类以及对应的解决方法。

一.     XRF简介

1.原理

图1  X射线荧光光谱仪原理图

X射线荧光光谱分析(X Ray Fluorescence)仪的原理主要基于：原子受到X射线的作用，其内层电子被激发，形成空穴，原子处于不稳定的激发态。为了回到稳态，原子的外层电子会跃迁回内层，多余的能量以荧光形式释放出来，被侦测器检测到，通过此来做分析。通常，可以将X射线荧光光谱分析仪可分为波长色散性和能量色散性。

2. 共元素干扰

在日常的分析工作中，XRF这种分析方法经常会出现共元素干扰。这种共元素干扰的问题主要起源于X荧光射线侦测器对于X荧光射线的分辨率的限制所致，只要是XRF都会遭遇到相同的问题。共元素干扰主要分为三类：两相近共元素干扰、加乘波峰、逃离波峰。

(1)两相近共元素干扰：由于两元素在能谱图上的位置相近，以至于侦测器无法分别出两者之间的差距。如铅(La10.55Kev)、砷(Ka10.54Kev)。</