~~~0926~~~更新
MOS管的介绍也是为后面“CMOS集成电路”埋下伏笔。
【简单了解】
- MOS结构:Metal-SiO2-Si是绝缘栅场效应管的代表结构,是学习MOS场效应器件的基础,也是研究半导体表面特性最有用的器件之一,而且在集成电路中还可以作为存储电容器和电荷耦合器件(CCD)的基本组成部分。通过调节栅电压可以实现积累,耗尽和反型三种状态,结构如下图:

- MOS器件的发明(1960年,Kahng和Atalla,集成电路发展重要事件之四)
1959年,Atallat提出用硅片上热生长SiO2层作为栅绝缘层
1960年,贝尔实验室的Kahng 和Atalla制备出第一支MOS场效应晶体管。
1963年,Wanlass和Sah发明了CMOS
1967年,A.Sgrove,C.T.Sah,E.H.Snow, B.E.Deal等合作,基本厘清Si-SiO2系统的四个电荷的性质

- p-Si:P型掺杂硅衬底;
- 源极或漏极:n+,N型阱
- 栅极:多为多晶硅,下层生长了一层薄SiO2实现栅极与源漏极绝缘。
- L: 沟道长度;W:沟道宽度
- MOS管的结构和工作原理

n型晶体管(nMOS)与p型晶体管(pMOS)
栅:控制输入
- 在nMOS中,当栅压足够高时电子数目将超过空穴,因而栅下方称为“沟道”(channel)的一层很薄的区域将反型成为n型半导体。此时,源漏导通。即,nMOS:1(高电平导通)
- 在pMOS中,当栅压足够低时正电荷被吸引到Si-SiO2的界面下,形成正电荷载流子的导电通道。此时,源漏导通。即,pMOS:0(底电平导通)
MOS管符号:

常用的CMOS门电路:
- 反相器(输入A,输出Y=A')

- 与非门(NAND,同时为1输出取0)

- 或非门(NOR,同时为0输出取1)

【了解多一点】