激光扫描共聚焦显微镜是二十世纪80年代发展起来的一项具有划时代的高科技产品,随着计算机与激光的发明,许多科学家结合这两项技术完善激光共聚焦的成像效果,1987年《自然》杂志发表了“共聚焦显微镜时代的到来”一文,预示着它将成为科学研究中有力的工具之一,如今它在材料科学,生物科学,医学等等领域发挥了巨大的作用。其中超高分辨率荧光显微技术例如STED、STORM等已经有结合共聚焦显微镜的商用产品诞生,结合两者的技术特点让人类突破可见光衍射极限的限制,可以通过可见光来观测纳米级的微观世界,而发展这项技术的三位科学家也因为他们的卓越贡献荣获2014年诺贝尔化学奖。
激光扫描共聚焦显微镜是用于表面形状测量的强大工具,可用于台阶高度测量、非球面表面形状测量以及精密测量区域中的精细结构测量。激光扫描共聚焦显微镜系统主要由四个部分组成,由扫描控制系统,显微光学系统,计算机系统和图像输出设备的四个部分组成,如图1所示。激光扫描共聚焦显微镜的主要组成部分是显微镜,与系统的图像质量直接相关。显微镜的光路是没有离心机的光学系统,可以在不影响成像质量和测量精度的情况下将光学选件插入其中。扫描控制系统中包括Z轴,X-Y焦平面,共聚焦针孔和电倍增管四大部分。
激光扫描共聚焦显微镜具有高分辨观察,能够达到焦点深,光点的半径最小达到2㎛,能够清晰地观察到样品表面;同时通用性也很高,可量测各种目标物,具有较高的角度特性和水平分辨率;具备自动调整激光接收量的“AAGII 功能”能够2次扫描实现准确测量的 “双扫描功能”,在单次扫描无法测量的情况下,系统将自动改变光接