带你轻松了解半导体CIM系统之AMHS (一)

AMHS系统（自动化物料搬送系统）对于生产芯片的晶圆厂在提高生产效率和缩短产品的生产周期等方面起着关键作用，尤其是现在主流的12寸晶圆厂对于AMHS系统更是必不可少。

在这里把AMHS系统也归类到了CIM系统领域，可能有的厂商不认为AMHS隶属于CIM系统，但个人认为AMHS系统的核心是软件部分，且与MES等CIM系统有密切交互，因此把AMHS系统也划分到CIM系统旗下。

本文是半导体CIM系统之AMHS系统介绍的开篇之作，主要分享学习AMHS系统的组成结构，发展历史，国内外发展现状以及未来展望等基础知识，后续再对细节技术进行探讨。

AMHS系统组成结构

AMHS(Automatic Material Handling System，自动化物料搬送系统)，一般特指在无尘室环境下，通过软件系统的控制和调度，按照生产系统的指令，实现物料在生产线工序间的自动搬运、缓冲存放的系统。

AMHS具备减少物料的闲置时间，提高无尘室车间的利用率，提高产品良率，减少人员误操作，降低人力成本等诸多优势，广泛应用于半导体硅片厂、半导体晶圆制造厂、半导体封装测试厂、显示面板厂以及新能源电池工厂等领域。该系列文章主要基于半导体晶圆制造厂业务进行介绍，但是系统在各行业有一定相似度。

半导体AMHS大致模型图

AMHS主要由硬件设备和控制软件组成，其中硬件设备包含搬运设备和存储与净化设备，控制软件包括MCS，STC，TSC等等。

搬运设备

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根据不同晶圆厂的需求，AMHS系统主要分为半自动化和全自动化解决方案。其中，8寸晶圆制造厂通常采用半自动化解决方案，涉及的搬运设备主要有AGV自动导航车、RGV有轨制导车和AMR机器人等地面传送设备和OHT天车设备。12寸晶圆制造厂现基本采用全自动化解决方案，涉及的搬运设备有OHT天车设备。

OHT(Overhead Hoist Transport)能够在空中轨道上行驶，并能够通过皮带传动起重机直接进入保管设备或工艺设备的装卸口取放货，应用于工序区内部，也应用于工序区间或工厂间运输。目前在12寸晶圆制造厂，OHT系统被广泛认定为FAB工厂的主力搬送系统。

 弥费科技OHT

AMR(Autonomous Mobile Robot)  协作机器人，用于半导体晶圆厂地面搬运FOUP/POD，对接MRC进行任务调度；实现设备与设备间搬运、设备与E-Rack间搬运。

弥费科技AMR

Conveyor，洁净室传送线，主要用于实现POD中短距离的传递输送，实现机台设备、STK、TW STK等设备之间FOUP的输送传递。按照工艺流程将不同设备有机串联起来的同时，能够缓存一定数量的POD。

弥费科技Conveyor              

RGV(Rail Guided Vehicle)，轨道式导引机器人，RGV又称轨道穿梭小车，沿轨道将Cassette在工艺设备、Stocker和Buffer之间进行传输。

  Mirle RGV

AGV(Automated Guided Vehicle)，移动机器人，AGV是带有SCARA 机械臂的自动化运输系统，可以“直接”访问储料器和加工设备，灵活地将载体运送到加工设备。