芯片漏电流leakage测试

漏电流是一种芯片常见测试项，常用来对输入引脚测试（含io的in状态），包括IIL和IIH输入漏电流测试，通过对输入漏电流的测试，能测试到输入端到vdd和vss端的电阻，确保满足设计要求，输入漏电流测试也是对器件是否静电损坏的重要测试项。

IIL为在force低电压VSS时，测试vdd端到输入端的漏电流，此时输入端的逻辑电平为1。因为force低因此为IIL

IIH为在force高电压Vddmax时，测试输入端到vss端的漏电流，此时输入端的逻辑电平为0。

测试时器件电源设置为vddmax，通过pattern完成预处理逻辑电平状态，然后使用ppmu 加载电压测试电流，然后对测试到的电流进行检测，常见判定值-10uA～10uA。