知识星球里的学员问：RF Generator的工作原理能介绍下吗？它的主要作用是什么？
什么是RF Generator？ RF Generator即射频发生器，主要用于产生射频能量，促进等离子体生成和维持。 什么是RF电流? RF（Radio Frequency）是指电磁波频率在3 kHz到300 GHz范围内的频率。而射频电流是指在射频范围内的交变电流。普通的交流电频率在50/60 Hz，射频电流的频率远远高于普通交流电。 RF Generator主要参数？ 以某款RF Generator为例： 频率范围： Range 1: 100kHz - 320kHz Range 2: 320kHz - 1MHz Range 3: 1MHz - 3.2MHz Range 4: 3.2MHz - 10MHz Range 5: 10MHz - 35MHz Range 6: 35MHz - 150MHz 一般的RF Generator可以覆盖广泛的频率范围，而且频率是可调的 输出振幅 
欢迎加入我的半导体制造知识星球社区，目前社区有1900人左右。在这里会针对学员问题答疑解惑，上千个半导体行业资料共享，内容比文章丰富很多很多，适合快速提升半导体制造能力，介绍如下：
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什么是RF Generator？ RF Generator即射频发生器，主要用于产生射频能量，促进等离子体生成和维持。 什么是RF电流? RF（Radio Frequency）是指电磁波频率在3 kHz到300 GHz范围内的频率。而射频电流是指在射频范围内的交变电流。普通的交流电频率在50/60 Hz，射频电流的频率远远高于普通交流电。 RF Generator主要参数？ 以某款RF Generator为例： 频率范围： Range 1: 100kHz - 320kHz Range 2: 320kHz - 1MHz Range 3: 1MHz - 3.2MHz Range 4: 3.2MHz - 10MHz Range 5: 10MHz - 35MHz Range 6: 35MHz - 150MHz 一般的RF Generator可以覆盖广泛的频率范围，而且频率是可调的 输出振幅
值> 60mVrms，连续可调。60mVrms表示输出信号的有效值为60毫伏。这个值表示输出信号的平均电压水平。
输入电压
值: 110/220V ± 10%，50Hz ± 5%。意思是支持110V或220V电压的50Hz的交流电。
调制能力：FM, AM
内部: 1kHz正弦波
外部: 50Hz - 20kHz 欢迎加入我的半导体制造知识星球社区，目前社区有1900人左右。在这里会针对学员问题答疑解惑，上千个半导体行业资料共享，内容比文章丰富很多很多，适合快速提升半导体制造能力，介绍如下：
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