详述如何导入透镜加工数据到ZEMAX进行分析?

最近有个学员咨询我这边,他最近一直研究如何把zygo干涉仪测试出来的透镜加工数据输入到zemax进行分析对光学系统的影响,但是尝试了很多种方法,可是总是不成功。

      对于此问题,本人也研究过一些。网上多的方案是,干涉仪保存数据的时候,右击测试数据输出为格式·int的文件。

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      再利用zemax中的文件转换进行,将·int文件转化为·dat格式文件。

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      注意这个转化的·dat格式文件与zygo干涉仪软件保存的·dat格式文件完全不是一个。前者是这个可以用文本文件打开的查看的,后者用文本文件打开,其实是加密的,看到的都是乱码。

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      这个转化方法还有一个,就是zygo保存的是·dat格式,利用zygo老版本的软件metro进行转化,新版本的mx,目前未发现这个转化方式。老版本安装后有个dat-to-zxgrd.exe的程序,可以转化为·zxg格式文件,右击直接把后缀改为·dat,则成了文本文件可查看的·dat文件。和上面结果一样,但是这个转化就是这个粉丝遇到的问题,转化报错,然后就没办法继续了。

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      利用zemax转化为·dat文件后,在zemax中利用网格相位面类型导入转化后的数据,此时需要对数据乘以个9924的系数转化为相位。之所以这里未更详细说明,因为这个方法也不是百发百中。就像下图中跳出来一个“主光线不能被追踪时无法计算”,此时就崩溃了~

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      那么如果上面的方法有一条您这边走通了,恭喜您,蛇年行大运!但是不要换电脑了,不要换系统了,不要……因为下次可能没那么幸运了……

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      那么没有一个完美的方案吗?我其实也没有,不同软件之间的格式转化,实在是太复杂,每个软件担心被破解,都进行了很多加密处理,数据格式不明,加上zygo和zemax也一直更新,同一个方法不同版本之间有差异。

      我这边用的方法虽然不是完美,但一直用着没啥问题。这里分享下,大家有什么问题可以留言沟通。这种方法不适用于加工数据存在大量中高频信息情况。

      主要采用的是zygo软件的zernike拟合功能,和zemax中面形类型中的zernike相位面进行数据传递。不需要进行数据传递,但是拟合的数据和实际略微有差异,采用的zernike项数毕竟有限,模拟得到的是中低频数据,但是多年工程经验,这个实际工程足够了,接下来,演示下这个过程。

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      上面是一个面的加工数据,用Metro打开数据后,里面可以点击打开zernike拟合系数,如下所示

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     接下来我们用16项计算下,就不用36项,太多了,由于这里是测试的矢高数据,转变为相位,乘以2π/λ,即转化为相位。这里就用excel演示下,之前写的宏找不到了,可以直接读取计算,然后填写到镜头编辑栏中。有兴趣可以写一下。

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      在镜头编辑栏中我们插入Zernike相位面即可,设置项数为16项(您计算多少项就写多少项),归一化半径就设置和入瞳直径一致,波长设置为干涉仪波长0.633um。

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      可以利用最后一个面的间隔进行调焦去掉power,如下即是波前和干涉图对比,虽然rms0.133和模拟的rms0.1266有所差异,增大项数后,会更接近。有好的其余方案的,也可以帖子下留言沟通~~~也可加我微信进行沟通~~~微信lens_design

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