扩散 文章目录 扩散 扩散分两步: Si 中最大固溶度;一般随温度升高而升高;从下图可以看出:砷磷硼的最大固溶度较高,这也是用这三种元素来掺杂的重要原因,因为如果没有足够的最大固溶度,就不会产生足够的载流子; 扩散设备 菲克定律 影响扩散工艺的因素