SOI技术及产业发展研究

摘要

SOI 技术作为一种全介质隔离技术,有着许多体硅器件不可比拟的优势,如功耗低、速度快、抗干扰强、集成度高等特点。经过几十年的发展,SOI技术逐渐受到产业界的关注和重视,被广泛运用到无线通信、汽车电子、边缘计算、电源管理等领域。对SOI结构原理和制备技术进行了介绍,从发展历程、行业应用、生态建设等方面对RF-SOI和FD-SOI的产业化应用情况进行了研究和分析,并针对性地提出了当前SOI产业面临的主要风险和挑战。

关键词： SOI; 射频; 集成电路; 产业化

0 引言

自1947 年全球第一只晶体管问世以来,半导体技术取得了一项又一项“首次性”突破,