射频电源CEX功能

射频模块各部分之间的CEX 射频信号，可以将两个或两个以上的电源锁定输出到同一个负载。将电源锁定在一起，可使锁定的电源以相同的频率运行，并使其输出保持固定的相位关系。因此，多个电源可以耦合到同一个等离子体中。
注：在这种操作中，输出频率或者射频能量相位的轻微差异，可能会产生导致不利影响
的频率变化。

进行CEX 连接：
使用T 型接头将主电源或公共波形发生器的CEX 输出接头，与至多三个从电源的CEX 输
入接头进行连接。
注：连接装置所用电缆的长度会影响到射频电源之间的相位关系。使用规定的CEX 互连
电缆会减少相移。您也可以在接线中使用商用的移相器来提供对相移的其他控制

下面的内容引用自

等离子体技术【九】--等离子体的后端现象 - 抱树的金鱼佬 - 博客园 (cnblogs.com)

串扰与CEX 相位同步

　　CEX是多数射频电源的功能之一，它可减轻串扰，并消除与之相关的问题。通常又叫相位同步。该功能可与系统上的所有电源相匹配，与其波形相吻合,从而使所有的阴极始终处于同相状态 。

　　下图显示了在没有使用CEX时会出现的阴极之间的串扰，并产生波形的电位差。（摘自AE官网）

如AE公司采用的Arc Synch技术，可消除因靶材串扰造成的电弧放电现象。电弧同步可与一个系统中的所有电源相匹配，从而使得所有部件对电弧作出反应，即使只有一个部件感测到了电弧。如果没有电弧同步,那么只有那个感测到电弧的部件可对此作出反应,而其它所有电源则继续照常运行。这会导致这些阴极相互干扰,从而导致基板电弧放电、基板和靶材损坏、以及可能出现的最终电源损坏。有了电弧同步,当感测到电弧时,所有系统电源的同时响应可以消灭该电弧,从而防止阴极再燃烧和消弧导致阴极的相互干扰。